知识 PVD 技术采用的 5 种方法是什么?
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

PVD 技术采用的 5 种方法是什么?

物理气相沉积(PVD)技术用于在真空环境中制作薄膜涂层。

PVD 技术采用的 5 种方法是什么?

PVD 技术采用的 5 种方法是什么?

1.阴极电弧蒸发

阴极电弧蒸发包括使用高功率电弧蒸发涂层材料。

这一过程几乎完全电离材料。

金属离子与真空室中的活性气体相互作用,然后撞击并附着在部件上,形成一层薄涂层。

这种方法对于生产致密的附着涂层特别有效。

2.磁控溅射

磁控溅射使用磁场来增强真空室中气体的电离。

电离后的气体轰击目标材料,使其喷射出原子,在基底上形成薄膜。

这种方法用途广泛,可用于多种材料,包括金属、合金和化合物。

3.电子束蒸发

电子束蒸发利用电子束加热目标材料并使其气化。

汽化后的材料在基底上凝结成薄膜。

这种技术以能够沉积高纯度涂层而著称,通常用于需要精确控制薄膜厚度和成分的应用中。

4.离子束溅射

离子束溅射包括使用离子束轰击目标材料。

轰击使目标材料喷射出原子,然后沉积在基底上。

这种方法特别适用于沉积具有出色附着力和均匀性的薄膜。

5.激光烧蚀

激光烧蚀法使用高功率激光使目标材料气化。

气化后的颗粒在基底上凝结成薄膜。

这种技术通常用于沉积陶瓷和复合材料等复杂材料,而其他 PVD 方法很难沉积这些材料。

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