PVD 或溅射技术中的基底可以是沉积薄膜的任何材料。
这包括各种材料，如金属、陶瓷、聚合物，甚至生物材料。
基底材料的选择取决于最终产品的应用和性能要求。
选择 PVD 或溅射基底材料时应考虑的 5 个关键因素
1.基底材料的多样性
在 PVD 和溅射工艺中，基底可由多种材料制成。
例如，在电子等行业，基底可能由硅或玻璃制成，用于沉积金属层以创建导电路径。
在汽车行业，基底可以是需要保护或装饰涂层的金属零件。
2.与沉积工艺的兼容性
基底必须与 PVD 或溅射工艺兼容。
这意味着它应能承受沉积室中的条件，如真空、温度和高能粒子的轰击。
例如，在使用氧气或氮气等活性气体的反应溅射工艺中，基底不得与这些气体发生不利反应。
3.对沉积质量的影响
基底的性质会极大地影响沉积薄膜的质量。
基底的表面粗糙度、清洁度和温度等因素都会影响沉积层的附着力、均匀性和结构。
为获得最佳效果，通常会在沉积过程中对基底进行预处理或加热。
4.多层沉积
在某些应用中，基底会经历不同材料的多个沉积周期。
这种情况常见于制作需要特定性能（如耐磨性、耐腐蚀性或光学性能）的功能涂层。
每一层都可以定制以满足特定要求，而基底必须能够支持这些复杂的结构。
5.经济和环境因素
基底的选择还涉及经济和环境因素。
有些基底比较昂贵，或者需要更多的能源来准备沉积。
此外，基底材料的可回收性和对环境的影响也会影响其选择。
总之，PVD 或溅射中的基底是一个关键部件，可由多种材料制成，每种材料的选择都基于应用的特定要求、与沉积工艺的兼容性以及经济和环境因素。
基底的特性和制备对沉积薄膜的质量和功能起着至关重要的作用。
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