直流溅射是将各种材料的薄膜沉积到基底上的一种通用而精确的方法。它广泛应用于半导体行业,在分子水平上创建微芯片电路。此外,它还用于装饰性表面处理,如珠宝和手表上的金溅射涂层、玻璃和光学元件上的非反射涂层以及金属化包装塑料。
该工艺包括将用作涂层的目标材料置于与待镀膜基材平行的真空室中。直流溅射具有多种优势,包括对沉积过程的精确控制,可定制薄膜的厚度、成分和结构,确保结果的一致性和可重复性。它用途广泛,适用于许多领域和材料,包括金属、合金、氧化物和氮化物。该技术生产的薄膜质量高,与基底的附着力极佳,涂层均匀,缺陷和杂质极少。
直流溅射还具有可扩展性,适合大规模工业生产,并能高效地在大面积上沉积薄膜。此外,与其他沉积方法相比,直流溅射相对节能,利用低压环境,功耗较低,从而节省了成本,减少了对环境的影响。
直流磁控溅射是溅射的一种特殊类型,可实现精确的过程控制,使工程师和科学家能够计算出生产特定质量薄膜所需的时间和过程。这种技术在大规模生产操作中不可或缺,例如为双筒望远镜、望远镜、红外和夜视设备中使用的光学镜片制造涂层。计算机行业也利用溅射技术制造 CD 和 DVD,而半导体行业则利用溅射技术为各种类型的芯片和晶片镀膜。
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