蒸发材料是通过蒸发过程在表面上形成薄膜或涂层的物质。
这些材料被加热至高温,直至蒸发。
在真空环境中,蒸发的材料直接到达物体表面,通常是基底,在那里凝结并形成薄膜。
该过程在真空室中进行,以防止污染并确保只有所需的材料才能形成涂层。
关于蒸发材料的 7 个要点
1.纯度等级
蒸发材料的纯度通常在 99.9% 到 99.99999% 之间,具体取决于具体应用。
高纯度至关重要,因为它直接影响到所生产薄膜的质量和性能。
2.材料类型
用作蒸发材料的材料包括纯金属、锑化物、砷化物、硼化物、碳化物、氟化物、氮化物、氧化物、硒化物、硅化物、硫化物和碲化物。
这些材料的形状多种多样,如块状、箔状、球状、丝状、棒状、弹丸状和蛞蝓状,便于在蒸发过程中有效使用。
3.常见的热蒸发技术
常见的热蒸发技术包括电阻加热蒸发、电子束蒸发、闪蒸和感应加热蒸发。
每种方法都是通过在坩埚中电阻加热、将电子束聚焦在材料上、使用大电流脉冲快速加热材料,或通过感应加热在材料中产生电流,将蒸发材料加热到其汽化点。
4.真空环境要求
蒸发过程,尤其是电阻热蒸发,需要真空环境,以确保材料的蒸汽压超过周围环境的蒸汽压。
5.基本设备
基本设备包括一个真空系统、一个电能源和一个电阻元件,电阻元件的形状通常像一个用耐火金属制成的 "船"。
这种设置可在供电时产生热量,导致材料汽化,随后在基底上形成薄膜。
6.广泛的材料范围
净离子材料公司提供各种适用于热蒸发的材料,包括元素材料、合金材料、复合材料、金属材料、陶瓷材料、金属陶瓷材料和耐火材料,并以各种散装形式提供。
这些材料采用粉末冶金(PM)或真空熔炼(VM)等技术生产,并附有详细描述其化学成分和微量元素成分的分析证书。
7.精度和纯度
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