在热蒸发过程中广泛使用的沸腾舟通常是一种双组分陶瓷舟,由二硼化钛和氮化硼组成。之所以选择这种组合,是因为它能够耐高温、保持导电性并对熔融金属(尤其是铝)保持惰性。
详细说明
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材料成分: 蒸发舟由二硼化钛(TiB2)和氮化硼(BN)混合制成。选择二硼化钛是因为它具有出色的耐热性和对有色金属熔体的惰性。二硼化钛还能增强舟与铝液的润湿性,这对铝蒸镀工艺至关重要。氮化硼是一种非导电材料,加入氮化硼可调节坩埚舟的电阻。
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功能性: 蒸发舟的主要功能是充当待蒸发材料(通常是铝等金属)的容器。蒸发舟是一个电阻加热器,在高真空条件下,通过电流对蒸发舟和连续送入的金属丝进行加热。这一加热过程会熔化金属丝,然后将其蒸发,从而促进薄膜沉积。
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运行要求: 蒸发舟的运行温度必须远远高于所含材料的蒸发温度。这一要求确保了材料蒸发的高效性和一致性。舟的设计和材料成分对于保持高温而不发生降解或与熔融金属发生反应至关重要。
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多功能性和定制化: 蒸发舟由于使用方便、容量范围广,在各种薄膜涂层工艺中都很受欢迎。蒸发舟可根据特定需求定制,确保与不同材料和蒸发率的兼容性。
总之,热蒸发中的蒸发舟是一种由特定陶瓷混合物制成的关键部件,兼具高耐热性、导电性和化学惰性,是在高真空条件下处理和蒸发材料的理想选择。
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