在热蒸发工艺中广泛使用的蒸发舟主要由钨、钼及其合金（如钼-镧和钼-钇氧化物）等材料制成。选择这些材料是因为它们经久耐用、坚固耐用，并能确保熔融金属稳定、均匀地扩散。此外，一些蒸发舟由混合陶瓷制成，例如双组分蒸发舟由二硼化钛和氮化硼制成，三组分蒸发舟由氮化铝制成。这些陶瓷材料具有耐高温性、良好的导电性和更高的导热性，因此适合气相沉积工艺中的特定应用。
要点说明：
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主要材料：钨和钼
- 使用它们的原因:钨和钼是蒸发舟最常用的材料，因为它们非常耐用和坚固。这些金属可以承受高温，并在热蒸发过程中保持结构的完整性。
- 特性:这两种材料的熔点都很高（钨：3422°C，钼：2623°C），是处理熔融金属的理想材料。它们还能使熔融材料稳定、平滑地铺展，这对实现均匀的气相沉积层至关重要。
- 应用:这些材料广泛应用于需要精确、均匀薄膜涂层的行业，如电子、光学和太阳能电池板。
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合金：钼-镧合金 (ML) 和钼-氧化钇合金 (MY)
- 增强特性:与纯钼相比，钼-镧和钼-钇氧化物等合金具有更好的机械性能和热性能。这些合金在高热应力下更不易变形和开裂。
- 应用:这些合金通常用于要求更高的应用场合，需要更高的性能和更长的船用寿命。
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陶瓷材料：二硼化钛和氮化硼
- 双组分船:这些艇由二硼化钛和氮化硼混合制成。二硼化钛具有耐高温性和良好的导电性，而氮化硼可调节电阻，确保高效运行。
- 三组份船体 除了二硼化钛（Titanium diboride）和氮化硼（Boron nitride）外，还添加了氮化铝（Aluminum nitride），以提高导热性和蒸镀层的均匀性。因此，三组份蒸镀船适用于需要非常精确和均匀涂层的应用领域。应用领域
- : 陶瓷基蒸发舟用于特殊用途，如生产半导体薄膜和高级光学涂层。钽
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使用原因
- : 钽是另一种用于蒸发舟的材料，因其出色的耐腐蚀性和耐高温能力而闻名。应用
- : 钽蒸发舟可用于蒸发材料具有高活性或腐蚀性的工艺中，确保蒸发舟的使用寿命和可靠性。蒸发舟的选择标准
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热稳定性
- : 材料必须在高温下保持结构完整性。导电性
- : 良好的导电性对高效加热和蒸发至关重要。机械强度
- : 材料应足够坚固，能够承受操作过程中的机械应力。化学兼容性
- : 材料应具有化学惰性或对蒸发物质有抵抗力，以防止污染和降解。
总之，蒸发舟材料的选择取决于热蒸发工艺的具体要求，包括被蒸发材料的类型、所需涂层的均匀性以及操作条件。钨和钼因其优异的综合性能而得到最广泛的应用，而特种陶瓷和合金则用于要求更高的应用。
汇总表：
| 材料类型 | 主要特性 | 应用 |
|---|---|---|
| 钨 | 熔点高、耐用 | 电子、光学、太阳能电池板 |
| 钼 | 坚固性、热稳定性 | 电子、光学、太阳能电池板 |
| 钼合金 | 增强的机械/热性能 | 高要求应用 |
| 陶瓷（TiB2、BN） | 耐高温、导电性 | 半导体、光学涂层 |
| 钽 | 耐腐蚀性、高温稳定性 | 反应性/腐蚀性材料工艺 |
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