物理气相沉积(PVD)是一种通过将源材料转化为气体来制造薄膜的方法。然后将气体沉积到表面,形成具有特殊性能的薄膜。
物理气相沉积的 4 个关键步骤
1.电镀材料的气化
物理气相沉积的第一步是将源材料转化为气体。这可以通过加热材料直至其沸腾(蒸发)、使用高能粒子将原子从目标上击落(溅射)或使用电弧等离子体产生蒸汽来实现。
2.蒸汽的传输
一旦材料变成蒸汽,它就会从源头向形成薄膜的表面移动。这种移动发生在低压区域,通常是真空,以防止其他气体分子的阻碍。
3.在基底上凝结
然后,蒸气在材料(基底)表面变回固体,形成薄膜。基底可以通过加热或冷却来帮助完成这一过程。有时,蒸汽会与其他气体发生反应,从而改变薄膜的特性。
4.应用广泛
PVD 可用于电子、光学和医药等许多行业,因为它可以制造出具有非常特殊性质的薄膜。此外,它还有利于环保,并能制造出非常坚固和耐磨的涂层。
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