溅射压力有什么影响？掌握原子能，打造卓越的薄膜

溅射压力是控制原子沉积到基板上时的能量的最重要的单一参数。简而言之，真空室中的气体压力决定了溅射原子与背景气体原子之间碰撞的频率。较低的压力会减少碰撞，从而实现高能沉积和更致密的薄膜；而较高的压力会增加碰撞，导致低能沉积和更多孔隙的薄膜。

需要理解的核心原则是，溅射压力充当原子能的控制旋钮。通过调节压力，您决定了原子是以高速弹道粒子的形式到达基板，还是以低能、热化的尘埃形式到达基板。这个选择直接决定了薄膜的最终密度、附着力、应力和结构。

压力的物理学：平均自由程与碰撞

什么是溅射压力？

溅射压力是指在沉积过程中维持在真空室内的惰性气体（通常是氩气）的量。

它不是衡量等离子体强度的指标，而是维持等离子体并与被溅射材料相互作用的气体原子的密度。

平均自由程的概念

平均自由程是最关键的概念。它定义了一个粒子——在这种情况下是溅射原子——在与另一个粒子（例如氩气原子）碰撞之前可以移动的平均距离。

可以将其视为每个原子的“个人空间”。空间越大，中断越少。

压力如何决定平均自由程

低溅射压力意味着腔室内气体原子较少。这会产生较长的平均自由程，使溅射原子能够在没有碰撞的情况下行进相当远的距离。

相反，高溅射压力意味着腔室内充满了更多的气体原子。这会产生非常短的平均自由程，导致溅射原子在到达基板之前发生多次碰撞。

低溅射压力的影响

弹道输运

在低压下，长的平均自由程允许溅射原子几乎没有或没有碰撞地直接从靶材传输到基板。这被称为弹道输运。

这些原子保留了它们从靶材材料中溅射出来时获得的高初始能量的很大一部分。

所得薄膜特性：致密且附着力强

当这些高能原子撞击基板时，它们就像微小的锤子一样，物理上将自己紧密地堆积成致密、紧密结合的结构。

这种高能轰击会驱逐松散结合的原子，填充空隙，并促进与基板的牢固键合，从而形成具有高密度和优异附着力的薄膜。

更光滑的表面

到达原子的动能也赋予它们更多的表面迁移率。它们可以在基板表面移动以找到最稳定、能量最低的位置，从而形成更光滑、更均匀的薄膜。

高溅射压力的影响

扩散输运

在高压下，短的平均自由程迫使溅射原子与背景气体发生一系列碰撞。这个过程被称为扩散输运或“随机游走”。

每次碰撞都会使溅射原子损失能量并改变方向。它有效地漂移到基板上，而不是直接飞向基板。

所得薄膜特性：多孔且应力较低

这些低能或热化的原子像雪花落在地上一样轻柔地到达基板。它们几乎没有能量来重新排列自己，导致形成更多的柱状、密度较低且通常具有多孔薄膜结构。

虽然通常不太理想，但这种温和的沉积对于减少溅射薄膜中常见的固有压应力是有益的。

保形涂层的好处

热化原子的随机、多方向到达对于涂覆复杂的三维形状可能是一个显著优势。

由于原子从许多角度到达，高压工艺可以产生比视线低压工艺更均匀地覆盖侧壁和台阶的保形涂层。

理解权衡

为什么不总是使用最低压力？

尽管低压通常会产生最高质量的薄膜，但也有局限性。如果压力过低，可能会难以点燃或维持稳定的等离子体，从而导致过程不稳定。

此外，与低压沉积相关的高能量可能会在某些材料中产生非常高的压应力，这可能导致薄膜剥落或开裂。

用于复杂几何形状的高压

故意使用较高压力的主要原因是为了实现保形覆盖。如果你需要涂覆沟槽内部或不平坦的表面，高压下的扩散输运是必不可少的。权衡是薄膜密度较低。

压力与等离子体和电离

溅射压力还会影响等离子体本身。较高的压力通常会导致等离子体密度更高，但会降低轰击靶材的离子的能量。这会产生一个复杂的影响，影响整体沉积速率和过程稳定性。

针对您的目标优化压力

通过了解压力、原子能和薄膜结构之间的直接联系，您可以为您的特定应用选择正确的条件。

• 如果您的主要重点是最大的薄膜密度、附着力和光滑度： 使用允许稳定等离子体的最低工艺压力。
• 如果您的主要重点是均匀涂覆复杂的 3D 表面： 可能需要较高的压力来促进扩散输运并实现保形覆盖。
• 如果您的主要重点是降低高压应力： 尝试稍微增加压力以降低沉积原子的能量。

通过掌握压力作为控制原子能的工具，您可以精确设计薄膜的特性以满足任何要求。

总结表：

溅射压力	平均自由程	输运类型	原子能	所得薄膜特性
低压	长	弹道式	高	致密、光滑、附着力极佳
高压	短	扩散式	低（热化）	多孔、保形、应力较低

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