溅射涂层材料的晶粒大小因所使用的特定金属而异。金和银的预期晶粒大小通常在 5-10 纳米之间。尽管金因其有效的导电特性而成为常用的溅射金属，但其晶粒尺寸却是常用溅射金属中最大的。较大的晶粒尺寸使其不太适合高分辨率涂层应用。相比之下，金钯和铂等金属的晶粒尺寸较小，有利于实现更高分辨率的涂层。铬和铱等金属的晶粒尺寸更小，适合需要非常精细涂层的应用，但需要使用高真空（涡轮分子泵）溅射系统。
在 SEM 应用中，选择用于溅射镀膜的金属至关重要，因为它会影响所获得图像的分辨率和质量。镀膜过程是在不导电或导电不良的试样上沉积一层超薄金属，以防止带电并增强二次电子的发射，从而提高 SEM 图像的信噪比和清晰度。涂层材料的晶粒大小直接影响这些性能，晶粒越小通常在高分辨率成像中性能越好。
总之，根据成像分辨率的具体要求和溅射系统的能力，用于 SEM 应用的金银溅射涂层的晶粒大小在 5-10nm 之间，也可通过使用金钯、铂、铬和铱等金属来实现更小的晶粒大小。
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