溅射涂层是在表面沉积一层薄薄的金属的工艺。
这些涂层材料的晶粒尺寸会因所用金属的不同而变化。
对于金和银等金属，晶粒大小通常在 5-10 纳米（nm）之间。
由于金具有出色的导电性，因此是溅射涂层的常见选择。
不过，与其他常用的溅射金属相比，金的晶粒尺寸较大。
这种较大的晶粒尺寸使金不太适合需要高分辨率涂层的应用。
相比之下，金钯和铂等金属的晶粒尺寸较小。
这些较小的晶粒尺寸有利于获得更高分辨率的涂层。
铬和铱等金属的晶粒尺寸甚至更小，非常适合制作非常精细的涂层。
这些金属需要使用高真空溅射系统，特别是涡轮分子泵系统。
在扫描电子显微镜（SEM）应用中，选择何种金属进行溅射镀膜至关重要。
它直接影响到所获得图像的分辨率和质量。
镀膜过程是在不导电或导电不良的试样上沉积一层超薄金属。
这可以防止充电并增强二次电子的发射。
因此，它提高了 SEM 图像的信噪比和清晰度。
涂层材料的晶粒尺寸对这些特性有很大影响。
晶粒越小，高分辨率成像性能越好。
总之，用于 SEM 应用的溅射涂层的晶粒大小通常在 5-10nm 之间（金和银）。
金钯、铂、铬和铱等金属可选择更小的晶粒尺寸。
选择取决于成像分辨率的具体要求和溅射系统的能力。
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