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基底温度对薄膜性能的影响是薄膜沉积的一个重要方面。

基底温度对薄膜性能有何影响？(8 个关键因素）

1.晶体相位

基底温度升高会导致薄膜晶相发生变化。

例如，温度升高会导致从非晶相到晶相的转变。

2.晶体尺寸

基底温度升高会导致薄膜中晶粒尺寸减小。

这是由于在较高温度下，晶格的扩散和生长会增强。

3.化学计量比例

基底温度也会影响薄膜的化学计量比例。

温度升高可使薄膜的成分更均衡，从而提高薄膜的整体质量。

4.表面形态

薄膜的表面形态会受到基底温度的影响。

较高的温度可促进表面反应，使薄膜表面更光滑、更均匀。

5.带隙值

基底温度的升高也会影响薄膜的带隙值。

这是因为晶相、晶粒尺寸和化学计量比例的变化会影响薄膜的电子特性。

6.缺陷密度

提高衬底温度有助于补偿薄膜表面的悬浮键，从而降低缺陷密度。

这将提高薄膜的整体质量。7.附着力、结晶度和应力基底温度是影响沉积薄膜的附着力、结晶度和应力的重要参数。通过优化温度，可以获得所需的薄膜质量和性能。8.沉积速率溅射材料沉积到基底上的速率（称为沉积速率）会受到基底温度的影响。优化沉积速率有助于获得理想的薄膜厚度和均匀性。