在沉积过程中，真空有三个关键作用：它通过去除不需要的大气气体来防止污染；它为生成和操纵蒸汽创造了一个受控的低压环境；它确保汽化材料可以不受阻碍地从源头传输到基板。没有真空，大多数现代薄膜沉积在化学和物理上都是不可能的。
真空的基本作用是将沉积室从一个不受控制的反应性大气环境转变为一个高度工程化的环境。它不仅仅是一个空的空间，而是实现高品质薄膜所需纯度、传输和控制的基本要素。
实现粒子传输：平均自由程
大气压下的问题
在标准大气压下，空气中充满了氮气、氧气和水蒸气等分子。这些粒子处于持续的随机运动中。
来自沉积源的汽化原子每秒会与这些空气分子碰撞数十亿次。它的平均自由程——即在碰撞前可以行进的平均距离——小于一毫米。
真空解决方案
通过抽走绝大部分空气分子，真空极大地增加了平均自由程。
这使得汽化涂层材料能够以直线、不间断的方式从源头传输到基板。这种直线视距传输是几乎所有物理气相沉积（PVD）技术的基础。
保证纯度并防止污染
消除不必要的反应
许多材料，尤其是在加热到汽化点时，具有高度反应性。在开放空气中，它们会立即氧化或形成其他化合物，从而污染薄膜并改变其性能。
真空去除这些反应性气体，最显著的是氧气和水蒸气，创造了一个化学惰性环境。这确保了沉积的薄膜纯粹由预期的源材料组成。
控制气体和蒸汽成分
一旦建立初始真空，腔室就变成了一张白纸。这允许精确引入工艺所需的特定高纯度气体。
对于溅射或反应性沉积等技术，真空使得创建受控的低压等离子体环境或引入特定的反应性气体（如氮气以形成氮化钛）成为可能，而无需担心来自大气的污染。
创建可控的工艺环境
汽化的基础
许多用于产生蒸汽的方法，例如电子束蒸发，只能在真空中进行。高能电子束在有空气的情况下会散射和耗散。
精确的质量流量控制
低压环境能够对进入腔室的工艺气体或蒸汽量进行极其精确的控制。这种对质量流量的控制对于实现可重复的薄膜厚度、成分和材料性能至关重要。
确保沉积均匀性
在真空中，基板通常由复杂的夹具固定，这些夹具相对于蒸汽源进行旋转或移动。
这种运动确保涂层均匀地施加在复杂的表面上或一次施加在多个基板上。如果没有真空的低粒子密度环境，这种受控的机械运动将不切实际。
了解权衡
工艺时间和吞吐量
实现高质量真空并非一蹴而就。去除大气气体所需的“抽空”时间可能占总工艺周期的很大一部分。
夹具的复杂性和腔室的大小直接影响抽空时间，从而在基板容量和总吞吐量之间产生权衡。
设备复杂性和成本
真空系统——包括腔室、泵、阀门和仪表——复杂且购买、操作和维护成本高昂。所需的真空度越高（例如，超高真空），成本和复杂性就越大。
残留气体的影响
没有完美的真空。腔室中总会残留一些残留气体。这种气体的成分和压力仍然会微妙地影响沉积薄膜的性能，使得真空的质量成为一个关键的工艺参数。
真空度如何决定您的结果
真空度的选择是基于沉积工艺目标的一项战略决策。
- 如果您的主要目标是最大的薄膜纯度和密度：您必须使用高真空或超高真空（UHV），以最大程度地减少残留气体污染物掺入薄膜中。
- 如果您的主要目标是工业涂层的高吞吐量：较低质量的真空可能是可接受的，以减少抽空时间，前提是涂层材料与残留空气或水不具有高反应性。
- 如果您正在进行反应性沉积：首先需要高真空来创建清洁环境，然后精确地回填一定量的纯反应性气体。
最终，真空是所有现代薄膜技术赖以建立的无形但必不可少的基础。
总结表：
| 真空的作用 | 关键功能 | 对沉积的影响 |
|---|---|---|
| 实现粒子传输 | 增加汽化材料的平均自由程 | 允许从源头到基板的直线视距传输 |
| 保证纯度 | 去除反应性气体（氧气、水蒸气） | 防止薄膜氧化和污染 |
| 创建受控环境 | 实现工艺气体的精确引入 | 确保可重复的薄膜厚度和成分 |
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