溅射产率是指在溅射过程中，每个入射离子从目标材料中射出的原子数。
该产率是溅射沉积过程中的一个关键参数，因为它直接影响沉积率。
溅射产率受多个因素的影响，包括目标材料、轰击粒子的质量以及这些粒子的能量。
影响溅射产率的 5 个关键因素
1.目标材料
被轰击材料的类型在决定溅射产率方面起着重要作用。
不同的材料具有不同的结合能和原子质量，这会影响原子从表面射出的容易程度。
结合能较强或原子质量较大的材料通常溅射产率较低。
2.轰击粒子的质量
用于轰击目标材料的离子的质量是另一个关键因素。
较重的离子会携带更大的动量，从而与目标原子发生更有效的碰撞。
动量传递的增加可提高溅射产率。
3.撞击粒子的能量
入射离子的能量也会对溅射产率产生重大影响。
在溅射的典型能量范围（10 到 5000 eV）内，产量通常随着离子能量的增加而增加。
能量较高的离子能将更多的能量传递给目标原子，促进它们从表面射出。
溅射过程可视化
溅射过程本身可以形象地理解为原子尺度的台球游戏。
离子（作为母球）撞击密集的原子团（台球）。
最初的碰撞会将原子推向原子团的更深处，但随后这些原子之间的碰撞会导致一些接近表面的原子被弹出。
每个入射离子喷射出的原子数量就是溅射产率，它可以量化溅射过程的效率。
其他因素
影响溅射产率的其他因素包括离子撞击靶材的角度、靶材的表面结合能以及等离子气体压力和磁场强度（磁控溅射系统中）等操作参数。
了解和控制这些因素对于优化薄膜沉积、蚀刻和分析技术等应用的溅射工艺至关重要。
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