知识 PVD 工艺的温度是多少?需要了解的 5 个要点
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 4周前

PVD 工艺的温度是多少?需要了解的 5 个要点

PVD 工艺的温度通常在 50 至 600 摄氏度之间。

这个温度范围是金属和其他元素蒸发所必需的。

然后将这些元素重新沉积到合适的基底上,形成薄膜和涂层。

具体使用的温度取决于蒸发的材料和涂层所需的特性。

关于 PVD 工艺温度的 5 个要点

PVD 工艺的温度是多少?需要了解的 5 个要点

1.蒸发温度范围

PVD 工艺是在减压的可控气氛室中进行的。

压力通常在 0.1 到 1 N/m² 之间。

2.视线沉积

这种环境有利于 "视线 "沉积法。

固体材料的原子穿过腔室,嵌入其路径上的物体。

为了获得均匀的涂层,在沉积过程中,物体必须在腔体内正确定位。

3.PVD 技术的类型

PVD 技术主要有三种类型:热蒸发、溅射和离子镀。

热蒸发包括加热材料形成蒸汽,蒸汽在基底上凝结形成涂层。

这种加热可通过各种方法实现,如热灯丝、电阻、电子或激光束以及电弧。

4.溅射和离子镀

溅射和离子镀也是在 PVD 工艺的指定温度和压力条件下进行操作的其他方法。

5.PVD 工艺的特点

总的来说,PVD 工艺的特点是低压(高真空)和相对较低的温度。

这使得涂层非常薄,通常在 1 至 10 微米之间。

这些涂层有多种用途,包括通过沉积氮化钛等材料来提高钢制工具的耐磨性。

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