更新于 3个月前
热蒸发过程是将材料加热到一定温度，使其蒸发压力变得很大，从而使材料蒸发的一种方法。
这一过程会导致原子或分子在真空中从材料表面流失。
在蒸发之前，材料可以处于液态或固态。
通过升华或沸腾，将目标材料置于极高的温度下，以产生蒸气。
气化的材料通过真空环境传送到基底上。
蒸汽在基底表面凝结，形成一层固体薄膜。
沉积过程可重复进行，以实现薄膜的进一步生长和成核。
该工艺依靠电阻舟的焦耳加热将材料加热到蒸发点，然后蒸发的分子从源到基底形成薄膜涂层。
热蒸发技术因其简单易行、用途广泛而广受欢迎。
它可用于沉积多种材料，包括铝、银、镍、铬和镁等。
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它可用于各种金属和合金的气相沉积。大多数金属都能完全蒸发而不损失。蒸发筐可重复使用1。
在电子枪光束蒸发中，坩埚是一种容器或源支架，用于盛放和蒸发要沉积到基底上的材料。
主要用于电力电子领域的一种技术。它是利用电子束技术，通过材料沉积将碳源材料制成的石墨薄膜。
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蒸发舟源用于热蒸发系统，适用于沉积各种金属、合金和材料。蒸发舟源有不同厚度的钨、钽和钼，以确保与各种电源兼容。作为一种容器，它可用于材料的真空蒸发。它们可用于各种材料的薄膜沉积，或设计成与电子束制造等技术兼容。
钨和钼坩埚具有优异的热性能和机械性能，常用于电子束蒸发工艺。
