热蒸发过程是将材料加热到一定温度,使其蒸发压力变得很大,从而使材料蒸发的一种方法。
这一过程会导致原子或分子在真空中从材料表面流失。
在蒸发之前,材料可以处于液态或固态。
5 个关键步骤说明
1.加热目标材料
通过升华或沸腾,将目标材料置于极高的温度下,以产生蒸气。
2.输送蒸汽
气化的材料通过真空环境传送到基底上。
3.在基底上凝结
蒸汽在基底表面凝结,形成一层固体薄膜。
4.重复过程
沉积过程可重复进行,以实现薄膜的进一步生长和成核。
5.利用焦耳加热
该工艺依靠电阻舟的焦耳加热将材料加热到蒸发点,然后蒸发的分子从源到基底形成薄膜涂层。
热蒸发技术因其简单易行、用途广泛而广受欢迎。
它可用于沉积多种材料,包括铝、银、镍、铬和镁等。
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