真空镀膜机又称薄膜沉积机，是一种用于在基底表面涂上一层薄而均匀的涂层的设备。
该过程在真空室中进行，以创造一个亚大气压环境。
真空镀膜工艺采用物理或化学气相沉积技术。
物理气相沉积（PVD）是一种涂层材料经过从凝结相到气相的相变，然后再回到凝结相以形成薄膜的方法。
最常见的 PVD 工艺包括溅射沉积和真空蒸发。
真空镀膜机的 9 个基本组件
1.真空室和镀膜设备
真空室通常由不锈钢制成，可承受真空环境。
真空室配有法兰接口，是进行镀膜工艺的地方。
2.真空获取部件
这部分负责在真空室中创造和维持真空。
它涉及使用各种泵，如机械泵、罗茨泵和分子泵系统，以达到所需的真空度。
3.真空测量部分
这部分包括不同类型的真空计，用于测量真空室内的压力。
不同的原理和要求决定了各种真空计的使用，如热电偶、电离计和皮拉尼真空计。
4.电源部件
电源部件为镀膜过程提供必要的电能。
真空镀膜机中常用的目标电源包括直流电源、射频电源、脉冲电源和中频电源。
5.工艺气体输入系统
氩气、氪气、氮气、乙炔、甲烷、氢气和氧气等工艺气体通过包括气瓶、减压阀、流量计和电磁阀在内的系统输入真空室。
该系统可在镀膜过程中精确控制气体流量。
6.机械传动部分
为确保涂层厚度均匀，基底和涂层材料必须在涂层过程中进行多次旋转。
这部分包括工件台、轴承台和工件本身的旋转机构。
7.加热和温度测量
加热元件用于加热基体或涂层材料，以达到所需的温度。
热电偶用于测量和控制喷涂过程中的温度。
8.离子蒸发和溅射源
这些源用于生成蒸发或溅射形式的涂层材料。
多弧电镀通常使用圆形或矩形靶，而磁控溅射则使用矩形或圆柱形溅射阴极。
9.水冷系统
为防止部件过热，真空镀膜机中安装了水冷系统。
该系统通常包括冷水塔、冰水机和水泵。
真空镀膜机广泛应用于各行各业，包括餐具、家居用品、建筑材料、电子产品和包装。
它们通过提高产品的性能和外观，为产品带来功能和美学上的益处。
真空镀膜机具有吞吐率高、成本效益高、无溶剂工艺效率高和可靠性高等特点。
它们还可以进行定制，以适应不同尺寸和形状的基材。
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