真空热蒸发是一种用于在固体材料上形成和生长薄膜的沉积工艺。
这种技术因其简单有效而被广泛应用于实验室和工业环境中。
5 个要点说明
1.工艺概述
该工艺首先将目标材料置于极高的温度下，使其升华或沸腾并形成蒸汽。
然后通过真空环境将蒸汽输送到基底。
到达基底后，蒸汽凝结成固体薄膜。
这种沉积循环可重复进行，以加强薄膜的生长和成核。
2.热蒸发真空镀膜方法
热蒸发可通过两种主要方法实现。
电加热： 使用导线或由熔点较高的材料制成的导电坩埚对材料进行电加热。
这种方法适用于在高温下需要很大蒸汽压的材料。
船形蒸发器： 这种蒸发器专门用于蒸发氧化物。
舟形有利于加热和汽化过程。
3.热蒸发真空系统
真空系统对薄膜的质量起着至关重要的作用。
镀膜设备所需的基本压力在 10^-7 到 10^-5 毫巴之间。
现代系统通常使用涡轮分子泵，可在一小时内将腔室抽真空至所需的基本压力。
这些泵通常由旋片泵或其他类型的干泵提供支持。
蒸发器上方还使用快门来控制沉积过程，确保层的可重复性。
4.应用和材料
热蒸发技术用途广泛，可用于沉积包括铝、银、镍、铬和镁在内的多种材料。
该技术因其简便性和使用薄膜监控器控制沉积层厚度的能力而特别受青睐。
5.结论
真空热蒸发因其简单的工艺和对各种材料的适应性，仍然是薄膜沉积领域的一项基本技术。
真空系统提供的受控环境可确保形成高质量的薄膜，因此在研究和工业应用中都是不可或缺的。
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