溅射靶材的尺寸多种多样，有直径小于一英寸的小靶材，也有长度超过一码的大靶材。
溅射靶材的尺寸是多少？需要考虑的 5 个关键因素
1.尺寸变化
溅射靶材的尺寸在很大程度上取决于正在制作的薄膜的具体需求。
直径通常小于一英寸的小靶件非常适合需要最少材料沉积的应用。
另一方面，长度超过一码的大靶则适用于需要大量材料沉积的应用。
2.形状和定制
传统上，溅射靶都是矩形或圆形的。
然而，现代制造技术已经能够生产各种形状的靶材，包括正方形、三角形和圆柱形（如旋转靶）。
这些特殊形状旨在优化沉积过程，提供更精确、更快速的沉积速率。
3.分段
对于超大型溅射应用，由于技术或设备的限制，单件靶材可能并不实用。
在这种情况下，可将靶材分割成小块，然后使用特殊的接头（如对接接头或斜角接头）将其连接在一起。
这种方法可在不影响沉积过程完整性的情况下制作大型靶材。
4.标准和定制尺寸
制造商通常提供一系列圆形和矩形靶的标准尺寸。
不过，他们也会满足客户的定制要求，允许客户指定最适合其特定应用需求的尺寸。
这种灵活性确保了溅射工艺可以量身定制，以满足不同行业和应用的确切要求。
5.纯度和材料考虑因素
靶材的尺寸和形状并不是唯一的考虑因素，材料的纯度也至关重要。
根据金属和应用的不同，靶材的纯度从 99.5% 到 99.9999% 不等。
纯度越高，薄膜的质量越好，但同时也会增加材料成本。
因此，选择合适的纯度水平需要在成本和性能之间取得平衡。
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