溅射靶材的尺寸差别很大,从直径小于一英寸(2.5 厘米)到长度超过一码(0.9 米)的长方形靶材不等。标准圆形靶的直径通常在 1 英寸到 20 英寸之间,而矩形靶的长度可达 2000 毫米以上。
详细说明:
-
尺寸变化:溅射靶材的尺寸在很大程度上取决于所制作薄膜的具体要求。直径通常小于一英寸的小靶适用于对材料沉积要求较低的应用。相反,长度超过一码的大靶则适用于需要大量材料沉积的应用。
-
形状和定制:传统的溅射靶材为矩形或圆形。然而,随着制造技术的进步,我们可以生产各种形状的靶材,包括正方形、三角形和圆柱形(如旋转靶)。这些特殊形状旨在优化沉积过程,提供更精确、更快速的沉积速率。
-
分段:对于超大型溅射应用,由于技术限制或设备制约,单件靶材可能不可行。在这种情况下,可将靶材分割成小块,然后使用特殊的接头(如对接接头或斜角接头)将其连接在一起。这种方法可以在不影响沉积过程完整性的情况下制作大型靶材。
-
标准和定制尺寸:制造商通常为圆形和矩形靶提供一系列标准尺寸。不过,他们也会满足客户的定制要求,允许客户指定最适合其特定应用需求的尺寸。这种灵活性确保了溅射工艺可以量身定制,以满足不同行业和应用的确切要求。
-
纯度和材料注意事项:靶材的尺寸和形状并不是唯一的考虑因素,材料的纯度也至关重要。根据金属和应用的不同,靶材的纯度从 99.5% 到 99.9999% 不等。纯度越高,薄膜的质量越好,但同时也会增加材料成本。因此,选择合适的纯度水平需要在成本和性能之间取得平衡。
总之,溅射靶材有多种尺寸和形状可供选择,并可根据具体应用需求进行定制。靶材尺寸和形状的选择受到所需的沉积速率、基底尺寸以及薄膜应用的具体要求的影响。
了解 KINTEK SOLUTION 的各种溅射靶材,让精度与多功能性完美结合。我们的溅射靶材尺寸从小巧到巨大,形状也能满足最复杂的应用,让我们为您量身定制完美的沉积需求。从标准尺寸到定制尺寸,以及可确保薄膜最高质量的纯度等级,KINTEK SOLUTION 是您的最佳溅射靶材供应商。发现最适合您项目的溅射靶材,立即提升您的薄膜生产水平!