磁控溅射是一种多功能涂层工艺，用于沉积各种材料的薄膜。
这些薄膜的厚度通常从几纳米到最多 5 微米不等。
这种工艺非常精确，可使整个基底的厚度均匀性变化小于 2%。
关于磁控溅射镀膜厚度的 5 个重要见解
1.工艺概述
磁控溅射需要使用靶材。
目标材料（如金属、合金或化合物）受到来自氩气或氦气等惰性气体的高能离子轰击。
这种轰击将原子从靶材中喷射出来，然后沉积到基底上，形成薄膜。
该过程在真空中进行，以确保材料的有效沉积而不受污染。
2.厚度控制
沉积薄膜的厚度可通过各种参数进行精确控制。
这些参数包括溅射电压、电流和沉积速率。
例如，在典型的现代磁控溅射镀膜机中，沉积速率范围为 0 到 25 nm/min。
这样就能制作出薄至 10 纳米的薄膜，同时具有极佳的晶粒度和最小的温升。
这种控制水平可确保涂层均匀一致，并能很好地附着在基底上。
3.应用和材料
该工艺广泛应用于各行各业，用于制造具有特定性能的涂层。
这些特性包括耐磨性、低摩擦性、耐腐蚀性以及特定的光学或电气特性。
磁控溅射常用的材料包括银、铜、钛和各种氮化物。
这些材料是根据最终涂层所需的功能特性来选择的。
4.均匀性和精确性
磁控溅射的一大优势是能够实现膜厚的高度均匀性。
这对于电子或光学等需要精确厚度控制的应用来说至关重要。
该工艺可将厚度变化保持在 2% 以下，确保整个涂层表面性能一致。
5.商业和工业应用
在商业环境中，磁控溅射用于应用与产品功能密不可分的涂层。
例如，在玻璃行业，溅射涂层用于制造低辐射（Low E）玻璃，这对节能建筑至关重要。
这些涂层通常是多层的，银因其光学特性而成为常见的活性层。
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