光学镀膜对于改变玻璃或塑料镜片等光学材料的透射和反射特性至关重要。
6 个关键步骤说明
1.准备和放置
将待镀膜的材料放入真空室中。
这一步至关重要,因为它为镀膜过程所需的受控环境奠定了基础。
真空室决定了可镀膜物体的最大尺寸。
2.涂层材料的气化
对涂层材料进行加热或降低其周围的压力,直至其汽化。
这可能发生在真空室内部,也可能发生在可将蒸汽引入真空室的邻近区域。
气化方法取决于涂层材料的类型和所需的特性。
3.涂层沉积
悬浮材料开始沉淀到基底材料上,形成均匀的涂层。
涂层的厚度可通过调节温度和工艺持续时间来控制。
这一步至关重要,因为涂层的厚度会极大地影响最终产品的光学特性。
4.沉积技术
沉积可采用多种技术,包括物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)。物理气相沉积法包括热蒸发或电子束蒸发、磁控溅射或离子束溅射以及阴极电弧沉积。化学气相沉积法涉及气相原生源的反应,等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)使用在辉光放电环境中活化的气相源。5.质量控制和测试涂层涂敷完成后,要经过严格的测试,以确保一致性和质量。