电子束沉积是一种通过在真空中蒸发材料来制造薄膜的工艺。
该工艺包括使用聚焦电子束加热坩埚中的材料，使其蒸发并随后凝结在基底上。
5 个关键步骤说明
1.产生电子束
电子束在电子枪中产生，通常使用钨丝通过电流加热。
加热会导致热离子发射，释放出电子形成电子束。
2.电子束的聚焦和偏转
然后使用磁铁将电子束聚焦并通过真空室导向装有待蒸发材料的坩埚。
3.材料蒸发
当电子束击中材料时，其动能会转化为热能，导致材料熔化（如铝等金属）或升华（如陶瓷）。
4.在基底上沉积
蒸发的材料从坩埚中流出，以薄膜的形式沉积在真空室中坩埚上方的基底上。
5.控制和增强
可使用计算机系统精确控制该过程，以管理加热、真空度、基底位置和旋转。
此外，还可使用离子束辅助来增强沉积薄膜的附着力和密度。
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