真空炉通过使用电力驱动的加热元件加热材料，通过辐射将能量传递给工作负载。真空炉的传热效率与温度有很大关系，根据斯蒂芬-波兹曼定律，温度越高，传热效率越高。在温度低于 600°C 时，通常会使用惰性气体进行对流加热，以加速加热过程。工件的加热速度还受热处理工件的颜色、表面处理和形状等因素的影响。
详细说明：
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电动加热元件：
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真空炉主要使用电能来加热工作量。这种能量通常通过加热元件传递，加热元件可由石墨等材料或可承受高温的金属制成。能量传递通过辐射进行，这是一种直接的热传递方法，能量以电磁波的形式发射出去。辐射传热：
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在真空环境中，辐射是最有效的传热方式，因为没有介质（如空气）来传导或对流热量。根据斯特凡-玻尔兹曼定律，辐射传热的速率随绝对温度的四次方增加。这意味着随着炉内温度的升高，辐射传热率也会显著增加，从而使真空炉中的高温制程变得非常高效。
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温度依赖性和惰性气体的使用：
虽然辐射在真空中效果很好，但其效率与温度有很大关系。在较低温度下（低于 600°C），辐射传热的速度相对较慢。为了加快这些温度下的加热过程，炉子中有时会充入氩气或氮气等惰性气体。这样会产生轻微的压力，从而实现对流加热，在较低温度下，对流加热比辐射加热更快。
工作量特性的影响：
