热蒸发是物理气相沉积（PVD）中用于沉积薄膜的一种方法。然而，它也有一些缺点，会影响沉积薄膜的质量和性能。
热蒸发的 3 个主要缺点是什么？
1.杂质含量高
与其他 PVD 方法相比，热蒸发通常会导致高杂质含量。这是因为材料是在真空中加热和蒸发的。杂质可能来自源材料或蒸发过程本身，尤其是在真空环境不理想的情况下。这些杂质会降低薄膜的性能，尤其是在要求高纯度的应用领域，如电子和光学领域。
2.适度的薄膜应力
通过热蒸发沉积的薄膜通常具有中等程度的应力。这种应力可能是材料固有的，也可能是沉积过程中产生的。薄膜应力会导致分层、开裂或基底变形等问题，尤其是在薄膜应用中。管理和减少薄膜应力对于保持沉积层的完整性和功能性至关重要。
3.薄膜密度和均匀性
如果没有离子辅助源或均匀性掩膜等特定增强设备，通过热蒸发沉积的薄膜质量可能会受到影响。没有这些设备，薄膜可能密度低、均匀性差。密度低的薄膜可能多孔且不耐用，从而影响其电气和机械性能。均匀性问题会导致整个基底上的薄膜厚度和特性发生变化，这在许多应用中都是不可取的，尤其是在需要精确一致的薄膜特性时。
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