化学气相沉积（CVD）是一种复杂的工艺，涉及多个关键部分，以确保成功沉积薄膜或涂层。
化学气相沉积的 5 个关键部分是什么？
1.气体输送系统
气体输送系统负责将前驱气体输送到反应室。
这些前驱气体必须具有足够的挥发性和稳定性，以便有效地输送到反应器中。
2.反应腔
反应腔是 CVD 过程实际发生的地方。
其设计目的是为薄膜或涂层的沉积提供必要的条件。
反应室可包括加热元件或等离子源，以促进所需的反应。
3.能量源
能量源用于提供发生化学反应所需的能量。
根据具体的 CVD 工艺，可以采用热、等离子体或其他能源的形式。
4.真空系统
真空系统对于在反应腔内创造和维持所需的压力条件至关重要。
这有助于控制气体流量和确保沉积薄膜的质量。
5.排气系统
排气系统负责清除反应腔内的副产品和未反应气体。
这有助于保持反应腔内的清洁和受控环境。
CVD 系统中可能存在的其他组件包括基片装载/卸载系统、用于监测和控制工艺参数的工艺自动控制系统，以及用于处理沉积过程中产生的废气的废气处理系统。
总之，CVD 系统的各个组件相互配合，实现了前驱气体的输送、薄膜或涂层在基底上的沉积以及副产品和废气的清除。
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