在石墨烯的化学气相沉积(CVD)合成过程中,前驱体的选择至关重要。这些前驱体对于在金属基底上形成石墨烯层的分解过程至关重要。
用于 CVD 合成石墨烯的 3 种主要前驱体 1.
1.固体前驱体
通常使用六氯苯和废旧固体塑料等固体碳源。
六氯苯在铜箔基底上加热至 360°C 分解形成单层石墨烯。
废旧固体塑料在高温(高达 500°C)下热解,然后作为碳源沉积。
这些固体前驱体可在较低温度下分解,因此适用于常压 CVD 工艺。
2.液体前驱体
液态碳源(如正己烷)经蒸发后,使用鼓风机引入 CVD 反应器。
通过在液体中通入惰性气体来控制蒸汽的浓度。
然而,控制液体前驱体可能具有挑战性,这限制了它们在 CVD 合成石墨烯中的广泛应用。
3.气态前驱体
气态前驱体在石墨烯合成的 CVD 技术中应用最为广泛。
常见的气体前驱体包括甲烷(CH4)、乙炔和乙烯。
这些气体通过气体输送系统引入反应室。
这些气体在金属基底上高温分解,形成石墨烯层。
氧气和氢气等其他成分的存在会严重影响石墨烯的沉积和生长,影响石墨烯晶粒的形态和大小。
在 CVD 过程中,这些前驱体经过热解形成解离的碳原子,然后在金属基底表面组装成石墨烯结构。
前驱体的选择和加工条件(如温度和压力)是影响石墨烯质量和性能的关键因素。
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