真空炉中的部分压力是指当整体压力显著降低时，炉内单个气体所产生的压力。通常情况下，这种减压远低于大气压。真空炉的目标是创造一种环境，使氧气和水蒸气等活性气体的分压降到最低。这有助于防止表面氧化，并促进被加工部件上现有氧化物的分解。
什么是真空炉中的分压？ 4 个要点解释
1.降低残余空气的分压
在中高真空区运行的真空炉中，残余空气（包括氧气和水蒸气）的分压大大降低。这种降低是至关重要的，因为它创造了一种环境，在这种环境中，可以在加工元件时尽量减少或避免表面氧化。氧化是高温工艺中的常见问题，通过真空条件减少氧气的存在有助于保持材料的完整性。
2.现有氧化物的分解
分压降低不仅能防止形成新的氧化物，还能帮助分解元件表面的现有氧化物。这一过程在很大程度上取决于温度和加工材料的类型。在真空条件下，较高的温度和特定的材料特性可提高氧化物分解的效果。
3.真空度的控制和维持
真空炉的设计旨在保持精确的压力水平，在某些工艺中，压力水平约为 500 微米，而在高真空工艺中，压力水平可低于 10-4 TORR。真空炉结合使用高速扩散泵和旋片真空泵来实现和维持这些低压。系统配有真空计和控制装置，以确保压力保持在所需范围内。如果压力偏离设定点，温度程序将暂停，直到压力得到纠正。
4.冷却和压力控制
经过高温浸泡后，窑炉要进行冷却，包括增加惰性气体流量和冷却水循环。冷却过程会降低炉压，因此需要额外的压力控制。冷却过程中的压力保持在 0.85 巴到 10 巴之间，具体取决于具体的工艺类型。
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