知识 什么是物理气相沉积?(5 个要点解读)
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

什么是物理气相沉积?(5 个要点解读)

物理气相沉积(PVD)是一种用于制造薄膜和涂层的方法。

它将材料从凝结相转化为气相,然后再回到凝结相。

该工艺是通过物理方式将涂层中的原子、离子或分子沉积到基底上。

通常情况下,纯金属、金属合金和陶瓷的涂层厚度在 1 到 10 微米之间。

5 个要点说明

什么是物理气相沉积?(5 个要点解读)

1.工艺概述

PVD 工艺始于固态材料。

然后通过各种物理机制将其转化为蒸汽。

这种蒸气在低压区域内从源头传输到基底。

到达基底后,蒸汽凝结成薄膜。

这一系列步骤对于精确控制材料的沉积至关重要。

2.技术和机制

PVD 技术主要有三种类型:溅射、蒸发和离子镀。

每种技术都是在一个含有受控减压气氛的腔室内进行操作。

例如,溅射涉及通过动量交换从固体或液体源释放原子。

原子在高能粒子的轰击下从目标材料中物理喷射出来。

3.应用和优点

PVD 广泛应用于各行各业,包括医疗领域。

它对于在人体附近或体内使用的医疗设备的涂层至关重要。

PVD 能够在原子级沉积材料,确保涂层正确、均匀地附着在设备上。

这种方法几乎可以应用任何类型的无机材料和少量有机材料,因此可广泛应用于不同领域。

4.与化学气相沉积(CVD)的比较

化学气相沉积是一种物理过程,与之不同的是,化学气相沉积涉及气相和表面的化学反应,以产生固体薄膜。

虽然两种方法都可用于薄膜沉积,但 PVD 的特点是材料从固态到气态再到固态的物理变化。

CVD 依靠化学反应沉积材料。

5.总结

总之,物理气相沉积是在各种基底上形成精确、均匀涂层的关键技术。

它利用物理机制在原子层面沉积材料。

这种方法在涂层质量、附着力和多功能性方面具有显著优势,因此在众多工业应用中不可或缺。

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