知识 什么是溅射镀膜?了解这种 PVD 工艺的 5 个要点
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

什么是溅射镀膜?了解这种 PVD 工艺的 5 个要点

溅射镀膜是一种物理气相沉积(PVD)工艺,涉及在基底上沉积薄的功能层。

实现的方法是将材料从靶材中喷射出来,然后沉积到基材上,形成原子级的牢固结合。

该工艺的特点是能够形成光滑、均匀和耐用的涂层,因此适用于包括微电子、太阳能电池板和汽车部件在内的广泛应用。

了解 PVD 工艺的 5 个要点

什么是溅射镀膜?了解这种 PVD 工艺的 5 个要点

1.目标腐蚀

该工艺首先对溅射阴极进行充电,形成等离子体。

等离子体会将材料从靶材表面喷射出来。

目标材料通常被粘接或夹紧在阴极上,并使用磁铁确保材料的稳定和均匀侵蚀。

2.分子相互作用

在分子层面,靶材料通过动量传递过程被引向基底。

高能目标材料撞击基底,并进入其表面,在原子层面形成非常牢固的结合。

材料的这种结合使涂层成为基材的永久组成部分,而不仅仅是表面应用。

3.真空和气体利用

溅射是在充满惰性气体(通常是氩气)的真空室中进行的。

施加高压以产生辉光放电,加速离子撞击目标表面。

氩离子在撞击目标表面时,会喷射出目标表面的材料,形成蒸气云,在基底上凝结成镀膜层。

4.应用和优势

溅射镀膜在各行各业都有不同的用途,例如在半导体制造中沉积薄膜、为光学应用制作抗反射涂层以及塑料金属化。

该工艺以生产无液滴的高质量平滑涂层而著称,这对于需要精确厚度控制的应用(如光学涂层和硬盘表面)来说至关重要。

通过使用氮气或乙炔等其他气体,反应溅射可用于制造包括氧化物涂层在内的更多涂层。

5.技术

磁控溅射利用磁场来增强溅射过程,从而提高沉积速率,更好地控制涂层性能。

射频溅射用于沉积非导电材料,使用射频功率产生等离子体。

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