更新于 2个月前
了解化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）之间的区别对于任何参与薄膜沉积过程的人来说都至关重要。
PVD 使用物理力进行沉积。
CVD 使用化学反应进行沉积。
化学气相沉积 一般具有较高的沉积率。
PVD 沉积速度较慢。
CVD 通常需要加热基底。
PVD 通常不需要加热基底。
PVD 产生的薄膜更光滑，具有良好的附着力，但可能缺乏密度和覆盖率。
CVD 可提供密度更大、覆盖率更高的薄膜，但可能不够光滑。
气相沉积 可能涉及有害气体，带来风险。
PVD 通常不涉及危险材料。
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