化学气相沉积（CVD）工艺通常在高温范围内运行。
这一温度范围通常在 600 至 1100°C 之间。
具体到热 CVD，表面温度应保持在 800 至 1000°C 之间。
这些高温对于促进必要的化学反应以及所需材料在基底上的沉积至关重要。
重要的是要考虑到这些高温会对基底材料产生重大影响。
例如，钢材可能会被加热到奥氏体相区，需要进行额外的热处理，以优化基材的性能。
关于 CVD 高温的 6 个要点
1.一般温度范围
CVD 工艺通常需要 600 至 1100°C 的温度。
2.热 CVD 温度
热 CVD 特别需要 800 到 1000°C 的温度。
3.高温的重要性
高温对于促进化学反应和材料沉积至关重要。
4.对基底的热效应
高温会对基底材料产生重大影响，例如进入奥氏体相的钢材。
5.CVD 的变体
等离子体辅助 CVD (PACVD) 利用低压气体中的放电加速反应，将温度降低几百摄氏度。
6.特定应用温度
CVD 的温度要求取决于具体应用和沉积材料的性质。
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