物理沉积技术对于在各种基底上形成薄膜至关重要。
这些方法可提高基底的性能,以满足特定应用的需要。
这些技术包括在低压环境下将材料以蒸气形式沉积到基底上。
这种工艺通常称为物理气相沉积(PVD)。
PVD 方法因其精确性和均匀性而备受推崇。它适用于从涂层到半导体制造的各种应用。
什么是物理沉积?物理沉积是指将材料薄膜从气相沉积到基底上的过程。
通常在低压环境下进行。这种方法不涉及化学反应。
相反,它依赖于热力学或机械过程。物理沉积的主要目的是改变基底的表面特性。
这包括其光学、电气或机械特性。这是通过添加一层薄薄的材料来实现的。
物理沉积的常见技术
溅射:
这种技术是用离子轰击目标材料。
这将导致原子从目标材料中喷射出来并沉积到基底上。
热蒸发:
在这种情况下,需要沉积的材料会被加热直至汽化。
然后蒸气凝结在基底上形成薄膜。电子束蒸发: 这是一种特殊形式的热蒸发。使用电子束加热材料。这样可以精确控制沉积过程。分子束外延(MBE):