知识 什么是物理蒸汽传输过程?4 个关键步骤详解
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 3周前

什么是物理蒸汽传输过程?4 个关键步骤详解

物理气相传输过程又称物理气相沉积(PVD),是一种用于生产薄膜和涂层的方法。

该工艺将材料从凝结相转变为气相,然后再回到凝结相。

PVD 在包括医疗行业在内的各个领域都至关重要。

它通过对设备进行原子涂层,确保精确、均匀的覆盖。

物理气相沉积工艺的 4 个关键步骤

什么是物理蒸汽传输过程?4 个关键步骤详解

1.材料转化

要沉积的材料一开始是固体。

然后转化为蒸汽,并在物体表面重新凝固。

2.气化

汽化通常通过溅射或蒸发等方法实现。

在这些方法中,固体材料被加热或被粒子轰击,以将其分解成原子成分。

3.传输和沉积

气化原子在真空或低压气体环境中传输。

然后,原子凝结并在基底上形成薄膜。

4.控制和精度

该过程受到高度控制,以管理进入加工室的环境、气体成分和材料流。

这可确保均匀无污染的沉积。

每个步骤的详细说明

材料转化

在 PVD 过程中,起始材料通常是固体。

这对于保持纯度和控制最终涂层的性能至关重要。

向气相的转化是在不改变材料化学成分的情况下实现的。

气化技术

蒸发

这包括加热固体材料,直至其变成蒸汽。

热源可以是电阻加热器、电子束或激光。

溅射

用高能粒子(离子)轰击目标材料(固体)。

这将导致原子从目标材料中喷射出来,然后沉积到基底上。

传输和沉积

气化原子在受控环境(通常是真空)中移动。

这最大程度地减少了与其他粒子的碰撞,确保了沉积的清洁。

控制和精度

PVD 系统配备有控制压力、气体成分和材料流量的机制。

这对于实现所需的涂层性能至关重要。

结论

物理气相沉积是一种多功能、精确的薄膜和涂层沉积方法。

物理气相沉积法能够以原子方式对材料进行涂层,因此在要求高精度和高性能的应用中非常有价值。

该工艺对环境友好,因为它不会产生新物质或严重污染。

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