物理气相传输过程又称物理气相沉积(PVD),是一种用于生产薄膜和涂层的方法。
该工艺将材料从凝结相转变为气相,然后再回到凝结相。
PVD 在包括医疗行业在内的各个领域都至关重要。
它通过对设备进行原子涂层,确保精确、均匀的覆盖。
物理气相沉积工艺的 4 个关键步骤
1.材料转化
要沉积的材料一开始是固体。
然后转化为蒸汽,并在物体表面重新凝固。
2.气化
汽化通常通过溅射或蒸发等方法实现。
在这些方法中,固体材料被加热或被粒子轰击,以将其分解成原子成分。
3.传输和沉积
气化原子在真空或低压气体环境中传输。
然后,原子凝结并在基底上形成薄膜。
4.控制和精度
该过程受到高度控制,以管理进入加工室的环境、气体成分和材料流。
这可确保均匀无污染的沉积。
每个步骤的详细说明
材料转化
在 PVD 过程中,起始材料通常是固体。
这对于保持纯度和控制最终涂层的性能至关重要。
向气相的转化是在不改变材料化学成分的情况下实现的。
气化技术
蒸发
这包括加热固体材料,直至其变成蒸汽。
热源可以是电阻加热器、电子束或激光。
溅射
用高能粒子(离子)轰击目标材料(固体)。
这将导致原子从目标材料中喷射出来,然后沉积到基底上。
传输和沉积
气化原子在受控环境(通常是真空)中移动。
这最大程度地减少了与其他粒子的碰撞,确保了沉积的清洁。
控制和精度
PVD 系统配备有控制压力、气体成分和材料流量的机制。
这对于实现所需的涂层性能至关重要。
结论
物理气相沉积是一种多功能、精确的薄膜和涂层沉积方法。
物理气相沉积法能够以原子方式对材料进行涂层,因此在要求高精度和高性能的应用中非常有价值。
该工艺对环境友好,因为它不会产生新物质或严重污染。
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