真空炉的压力可根据运行的材料和工艺而变化。真空热处理的典型分压设置范围为 65 - 200 帕（500 - 1500 微米）。不过，如果需要，设定值可以低至 13 帕（100 微米）或高至 665 帕（5000 微米）。压力会随着温度的升高和污染物的挥发而增加。在分压工艺中，真空控制通常保持在 500 微米左右，在高真空工艺中，真空控制通常保持在 10-4 TORR 以下。
在热处理循环的冷却阶段，压力控制在 0.85 巴到 10 巴之间，具体取决于工艺类型。循环结束后，操作员手动将炉子恢复到大气压，然后卸下产品。
真空炉有不同的设计，包括间歇式或连续式真空炉。机械真空泵用于将压力降低到 50 微米左右，扩散泵用于将压力降低到 1 微米以下。某些工艺可能需要引入氩气等惰性气体，将压力提高到约 500 微米，以进行分压热处理。
总之，真空炉的压力是经过仔细控制的，以确保正确的热处理，并防止出现任何潜在问题，如蒸汽压力导致的热电偶故障。
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