电子束镀膜工艺是利用电子束在真空中加热和蒸发材料,然后在基底上凝结成薄膜。这种方法非常精确,可进行定向和精细的层沉积。
答案摘要:
电子束镀膜是一种薄膜沉积技术,使用电子束在真空室中加热和蒸发材料。蒸发后的材料在基底上凝结成薄膜。这种工艺以其沉积细层的精确性和定向能力而著称。
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详细说明:电子束的产生:
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该工艺首先在电子枪中产生电子束。这通常是通过加热钨丝来实现的,钨丝通过热电子发射来发射电子。通过高压电流(最高 10 kV)加热钨丝。也可以使用场电子发射或阳极电弧等其他方法。
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电子束的聚焦和偏转:
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生成的电子束通过适当的机制聚焦和偏转。聚焦后的电子束从电子枪通过真空工作腔到达坩埚中的待蒸发材料。材料蒸发:
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当电子束击中坩埚中的材料时,其动能会转化为热量。这种热量足以使材料蒸发。蒸发是在真空中进行的,以确保电子束的传播不受阻碍,并且蒸发的材料不会与空气发生反应。
薄膜沉积
蒸发的材料穿过真空,凝结在坩埚上方的基底上。基底可以旋转并精确定位,以控制沉积薄膜的厚度和均匀性。使用离子束辅助沉积,可提高薄膜的附着力和密度,从而增强工艺的效果。