蒸发加热是将热量传递给材料，使其原子或分子获得足够的能量，从而从固态或液态转变为气态的过程。
这一过程在各种应用中都至关重要，包括用于涂层材料的物理气相沉积技术。
蒸发加热过程中的 4 个关键步骤
1.加热材料
待蒸发材料在高真空环境中加热。
这通常是通过焦耳加热实现的，即电流通过装有材料的电阻舟，使其升温。
2.过渡到气相
随着材料升温，其原子或分子会获得动能。
当动能足以克服固态或液态中的内聚力时，它们就会转变为气态。
3.在基底上沉积
气化的分子从源到基底，在基底成核并形成薄膜涂层。
这一步骤对于在各种材料上形成薄膜涂层等应用至关重要。
4.提高蒸发率
为了提高蒸发率，需要提高材料的温度，从而增加其蒸气压。
较高的蒸汽压会导致分子向气相过渡的速度加快。
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