PVD(物理气相沉积)工艺是将金属材料气化,然后将其凝结在生产部件的表面,形成涂层。
这种涂层可增强零件的硬度、耐用性、抗化学性和抗氧化性。
PVD 因其能够提供持久的珠宝般的外观、改进的性能和易于清洁而被广泛应用于航空航天、汽车和医疗等行业。
5 个关键步骤说明
1.金属选择和蒸发
PVD 可以沉积铝、铬、钛、不锈钢等多种金属。
这些金属的气化是通过不同的方法实现的,如热蒸发、阴极电弧、溅射、脉冲激光沉积和电子束沉积。
其中,溅射是常用的重点方法,尤其是在真空环境中。
2.溅射过程
在溅射过程中,高能离子轰击固体金属目标,将其原子喷射到气相中。
这些喷射出的原子在真空室中沉积到零件上。
金属层的厚度取决于周期时间和施加到靶材上的功率。
3.PVD 技术和涂层的形成
PVD 在低电压和大电流电弧放电下运行,蒸发金属靶,并在真空条件下电离蒸发物质和气体。
该工艺可在产品表面形成一层超硬薄膜(通常为 10 微米)。
该技术在表面处理方面非常先进,能够形成超硬的 PVD 涂层薄膜,由于是在真空密闭室中形成的,因此非常环保。
4.涂层工艺和特点
最常见的 PVD 涂层工艺包括蒸发(使用阴极电弧或电子束源)和溅射(使用磁增强源或磁控管)。
这些工艺都是在特定压力下的真空环境中进行的,并使用高能离子轰击基材以形成高密度涂层。
还可引入氮气、乙炔或氧气等反应气体,生成各种复合涂层成分,增强涂层与基体之间的结合,并定制薄膜的物理、结构和摩擦学特性。
5.PVD 工艺的步骤
PVD 工艺包括四个主要步骤:
- 蒸发: 高能源轰击目标,使材料气化。
- 传输: 气化的原子从目标移动到基底。
- 反应: 金属原子在传输过程中与特定气体发生反应,形成金属氧化物、氮化物或碳化物等化合物。
- 沉积: 反应后的原子沉积到基底上,形成最终涂层。
PVD 的这一详细过程可确保沉积出高质量、耐久性和功能性涂层,这些涂层在各种工业应用中至关重要。
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