知识 薄膜的形成过程是怎样的?4 个关键步骤解析
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 3个月前

薄膜的形成过程是怎样的?4 个关键步骤解析

薄膜形成是在基底上沉积一层材料的过程。

这层材料的厚度通常从几纳米到几微米不等。

这一过程在各种应用中都至关重要,包括家用镜子、电子设备和太阳能电池的生产。

薄膜的形成涉及几个关键步骤,可通过各种沉积技术实现。

什么是薄膜形成过程?4 个关键步骤解析

薄膜的形成过程是怎样的?4 个关键步骤解析

1.创造沉积物种

这包括准备基底和目标材料。

基底是沉积薄膜的基础材料。

目标材料是形成薄膜的物质。

基底和目标材料的选择取决于最终产品所需的特性。

2.2. 物种运输

沉积物质通过蒸发、溅射、化学气相沉积(CVD)或旋涂等技术从靶材传输到基底。

在蒸发过程中,目标材料被加热直至变成蒸汽,然后在基底上凝结。

在溅射法中,使用高能等离子体将原子从目标材料中喷射出来,然后到达基底。

化学气相沉积是通过气态前驱体的化学反应将材料沉积在基底上。

旋转镀膜是指在涂抹液态前驱体的同时旋转基底,然后在基底干燥时形成薄膜。

3.生长和成核

目标材料到达基底后,会经历成核和生长过程。

来自目标材料的原子要么立即从基底反射出来,要么凝结在基底表面。

凝结的可能性受活化能、靶材与基底之间的结合能以及粘附系数等因素的影响。

凝结原子与撞击原子之比称为粘附系数。

随着更多原子的凝结,它们开始形成一层连续的薄膜,这层薄膜会继续增长,直到达到所需的厚度。

4.修正与回顾

所选择的特定沉积技术会极大地影响薄膜的特性,如厚度、均匀性和对基底的附着力。

值得注意的是,沉积过程中的环境,包括温度、压力和气体成分等因素,也会影响薄膜的质量。

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