知识 什么是金属 PVD 工艺?5 个关键方面的解释
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

什么是金属 PVD 工艺?5 个关键方面的解释

金属上的 PVD 工艺涉及将涂层种类的原子、离子或分子物理沉积到基底上。这通常会形成厚度为 1 至 10 微米的薄膜。该工艺在一个减压可控气氛室中进行。它既可用于直接沉积,也可用于涂层材料与反应气体之间发生化学反应的反应式沉积。

什么是金属上的 PVD 工艺?5 个关键方面的解释

什么是金属 PVD 工艺?5 个关键方面的解释

1.沉积技术

PVD 包括离子镀、离子注入、溅射和激光表面合金化等方法。每种方法都涉及生产金属和等离子体的不同过程。

2.反应气体

氮气、氧气或甲烷等活性气体通常与等离子体轰击结合使用,以确保镀层致密坚硬。

3.无化学反应

与化学气相沉积不同,PVD 在沉积过程中不涉及化学反应。相反,气化材料会在基底上凝结,形成所需的涂层。

4.PVD 技术详解

离子镀

这种方法使用等离子体来沉积薄膜。该过程包括通过热力学或机电过程激发前驱体材料,使其释放出特定的分子蒸汽,然后沉积到基底上。

溅射沉积

溅射是另一种常见的 PVD 技术,它通常在真空中用高能粒子轰击目标材料表面,从而喷射出目标材料原子。这些喷射出的原子随后沉积到基底上。

真空热蒸发

这种方法是将待沉积材料加热至蒸发,然后在真空环境中凝结在基底上。

电子束沉积

作为 PVD 的一种特殊形式,该技术使用电子束将材料加热至蒸发点,然后沉积到基底上。

5.安全性和易用性

与化学沉积法相比,PVD 工艺通常更安全、更易于操作,因为它不依赖化学物质。在 PVD 过程中,金属转变为气体需要高温,但无需加热基底本身,因此过程更可控,危险性更低。

美学和功能优势

PVD 涂层具有美学和功能上的双重优势。通过调整时间、热量、牺牲金属和惰性气体等参数,可对该工艺进行操作,以产生特定的颜色和表面厚度。这使得 PVD 成为金属加工中的一种多功能技术,它将艺术与科学相结合,提高了金属表面的性能和外观。

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