知识 物理气相沉积的厚度是多少?(需要考虑的 4 个关键因素)
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 3个月前

物理气相沉积的厚度是多少?(需要考虑的 4 个关键因素)

物理气相沉积(PVD)是一种用于在各种材料上形成薄膜的技术。

这些涂层的厚度变化很大,从原子层到几微米不等。

物理气相沉积的厚度是多少?(需要考虑的 4 个关键因素)

物理气相沉积的厚度是多少?(需要考虑的 4 个关键因素)

1.厚度范围

PVD 涂层可以薄至几个纳米,也可以厚至几个微米。

PVD 涂层的常见厚度范围为 1 至 10 微米 (µm)。

2.溅射过程持续时间的影响

PVD 涂层的厚度直接受溅射过程持续时间的影响。

溅射过程持续的时间越长,薄膜就越厚。

3.涂层粒子能量的影响

涂层粒子的能级在决定厚度方面也起着至关重要的作用。

这种能量从几十电子伏特到几千电子伏特不等,会影响沉积速率。

4.热蒸发法

热蒸发法是一种常见的 PVD 方法,涂层厚度通常在埃到微米之间。

这种方法需要加热固体材料,直到其形成蒸汽云,然后冷凝到基底上。

厚度取决于蒸发过程的持续时间和材料的蒸气压。

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