知识 PVD涂层中使用哪种化学品?关于靶材、气体和工程化合物的真相
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 6 天前

PVD涂层中使用哪种化学品?关于靶材、气体和工程化合物的真相


在PVD涂层中,没有使用单一的“化学品”。相反,该过程是在高真空环境中,将固体源材料(称为靶材)与特定的反应性气体结合起来。常见的固体靶材包括钛(Ti)铬(Cr)金(Au)等金属,而氮气(N₂)和乙炔(C₂H₂)等反应性气体则用于在零件表面形成最终的涂层化合物。

PVD的核心原理不是涂覆液体化学品,而是构建一层新的高性能表面层。这是通过蒸发固体金属并使其与气体反应,从而沉积一层具有硬度、颜色和耐腐蚀性等特定性能的薄而耐用的薄膜来实现的。

PVD涂层的基本构成

物理气相沉积是一种材料构建过程,而非简单的应用。它需要三个关键组成部分:靶材、气体和基材。

固体源材料(“靶材”)

任何PVD涂层的基础都是靶材,它是您希望沉积的主要材料的固体块。

该靶材被放置在真空室中,并受到能量(例如离子或电子束)的轰击,使其从固体转化为蒸汽。

常见的靶材包括,甚至是非金属,如石墨(碳的来源)。

反应性气体和惰性气体

气体被引入真空室,以形成最终的涂层化合物并控制环境。

反应性气体与蒸发的靶材结合形成新的化合物。这决定了涂层的许多最终性能。主要例子包括氮气氧气和碳源气体,如乙炔

惰性气体,最常见的是氩气,用于创建稳定、非反应性的环境,也用于轰击靶材以产生蒸汽。

被涂覆的零件(“基材”)

基材是接受涂层的物体。PVD兼容多种材料。

这包括所有类型的钢(尤其是不锈钢和高速钢)、硬质金属、铜和铝等有色金属,甚至一些塑料。

PVD涂层中使用哪种化学品?关于靶材、气体和工程化合物的真相

材料如何结合形成涂层

PVD涂层的“化学品”是蒸发的靶材与气体反应并沉积到基材上时形成的化合物。

基本过程

首先,基材经过彻底清洁。然后将其与靶材一起放入腔室中,并抽空空气以形成高真空。

然后靶材被蒸发。当蒸发的金属通过腔室时,它与有意引入的反应性气体混合。

这种新化合物原子逐原子地沉积到基材上,形成一层薄而致密、附着力强的薄膜。

创建特定化合物

最终涂层是靶材-气体组合的直接结果。

  • 钛(靶材)+ 氮气(气体)= 氮化钛(TiN),一种非常常见、坚硬且具有独特金色光泽的涂层。
  • 铬(靶材)+ 氮气(气体)= 氮化铬(CrN),以其优异的耐腐蚀性和硬度而闻名。
  • 钛(靶材)+ 碳/氮(气体)= 碳氮化钛(TiCN),一种更坚硬的涂层,因其在切削工具上的耐磨性而备受推崇。

常见缺陷和局限性

尽管功能强大,但PVD工艺必须遵守特定的要求才能获得成功的结果。

真空的关键作用

PVD本质上是一种基于真空的工艺。这意味着任何在真空中释放气体(“放气”)的材料都不适用。

不适用的基材

镀锌钢或未镀黄铜等材料通常与PVD不兼容。这些材料中的锌在真空中蒸发,污染腔室并阻止形成良好的涂层。

表面处理至关重要

最终涂层的好坏取决于其所应用的表面。在工艺开始之前,必须仔细清除任何污染物,如油、污垢或氧化物,否则涂层将无法正确附着。

为您的目标做出正确选择

靶材和反应性气体的组合是根据最终产品的预期结果来选择的。

  • 如果您的主要关注点是极高的硬度和耐磨性: 碳氮化钛(TiCN)或氮化铬(CrN)等涂层是卓越的选择,常用于工业工具。
  • 如果您的主要关注点是装饰性和耐用性: 氮化钛(TiN)提供经典的金色,而其他组合可以为珠宝、手表和固定装置生产各种颜色。
  • 如果您的主要关注点是耐腐蚀性和轻量化: 钛基涂层是领先的选择,使其成为航空航天和医疗植入物应用的理想选择。

最终,PVD的“化学品”是一种精心设计的化合物,逐原子构建以满足特定的性能需求。

总结表:

组件 在PVD涂层中的作用 常见示例
靶材(固体) 要蒸发和沉积的主要材料。 钛 (Ti)、铬 (Cr)、金 (Au)、石墨
反应性气体 与蒸发的靶材结合形成最终的涂层化合物。 氮气 (N₂)、乙炔 (C₂H₂)、氧气 (O₂)
所得涂层 在基材上形成的高性能化合物。 TiN(金色,坚硬)、CrN(耐腐蚀)、TiCN(耐磨)

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