知识 PVD 涂层中使用哪种化学品?您应该了解的 5 种基本化学品
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 1周前

PVD 涂层中使用哪种化学品?您应该了解的 5 种基本化学品

物理气相沉积(PVD)是一种多功能涂层技术,用于提高各种材料的性能。

其中包括金属、聚合物和陶瓷。

该工艺包括在高真空条件下将金属源转化为蒸气状态。

然后将这种蒸气沉积到基底上。

通过这种方法可以制造出具有定制物理、结构和摩擦学特性的薄膜。

PVD 涂层中常用的化学物质包括钛(Ti)、铬(Cr)等金属及其氮化物和碳氮化物。

其中包括氮化钛(TiN)、氮化铬(CrN)和碳氮化钛(TiCN)。

这些涂层以其出色的附着力、硬度、耐腐蚀性和耐磨性而著称。

它们是半导体制造和塑料成型等行业的理想应用。

用于 PVD 涂层的 5 种基本化学品

PVD 涂层中使用哪种化学品?您应该了解的 5 种基本化学品

1.钛(Ti)

钛是 PVD 涂层中最常用的金属之一。

它具有优异的耐腐蚀性和高强度重量比。

2.铬 (Cr)

铬是 PVD 涂层中另一种常用的金属。

它具有高硬度和耐磨性。

3.氮化钛(TiN)

氮化钛是一种呈现金黄色的化合物。

它以高硬度和良好的耐磨性著称。

4.氮化铬(CrN)

氮化铬是一种化合物,具有出色的耐腐蚀性。

它还具有良好的硬度和耐磨性。

5.氮化钛(TiCN)

碳氮化钛是一种结合了氮化钛和碳化钛特性的化合物。

它具有高硬度和出色的耐磨性。

要点说明:

PVD 涂层的定义和工艺

PVD 即物理气相沉积,是一系列涉及气相沉积薄层的涂层工艺。

这些工艺通常在低压(10-2 至 10-4 毫巴)真空中进行。

其中包括用高能离子轰击基材,以增强附着力和密度。

最常见的 PVD 工艺包括蒸发和溅射。

在沉积过程中可引入氮气、乙炔或氧气等反应性气体,以形成复合涂层。

PVD 涂层中使用的材料

PVD 涂层中使用的材料可以是纯原子元素,如金属和非金属。

也可以是氧化物和氮化物等分子。

常用的化合物包括氮化钛(TiN)、氮化铬(CrN)和碳氮化钛(TiCN)。

PVD 也可用于聚合物材料。

不过,在沉积过程中,由于分子量的降低,往往会导致降解。

例如聚乙烯(PE)、聚偏二氟乙烯(PVDF)和导电性π-共轭聚合物。

PVD 涂层的优点

PVD 涂层可显著提高硬度、热稳定性和化学稳定性以及耐腐蚀性和耐磨性。

它们还能减少摩擦、卡住、堵塞、粘连、腐蚀和氧化等特性。

PVD 可以制造不同的涂层结构,包括纳米结构、多层和单层涂层。

这种灵活性使涂层能够满足特定的应用要求。

PVD 涂层的应用

自 1988 年以来,PVD 涂层已广泛应用于各行各业。

这些行业包括半导体制造、光学元件、太阳能电池和塑料成型模具。

研究表明,PVD 涂层,尤其是以钛和锆化合物为基础的涂层,可显著增强涂层部件的耐腐蚀性。

它们能保护零件长期免受腐蚀。

PVD 涂层的质量和性能

涂层的基体材料对涂层部件的腐蚀性能有很大影响。

例如,Ti 基涂层比 Zr 基涂层具有更好的耐腐蚀性。

PVD 涂层的质量、孔隙率和附着力是影响其在不同基材上性能的关键因素。

这些基材包括不锈钢、钛基合金和陶瓷。

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