类金刚石涂层 (DLC) 的应用涉及多个步骤。以下是相关步骤:
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预清洁:仔细清洁待镀层的部件,以去除任何污染物或杂质。这可确保涂层的正确附着。
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将零件放入行星夹具中:将零件放置在行星夹具中,该夹具允许单轴、双轴或三轴旋转。这种旋转有助于确保涂层均匀地覆盖零件的所有表面。
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真空抽气:将夹具和零件一起放入真空室。然后对真空室进行抽气,以创造真空环境。这对防止涂层过程中出现任何不必要的反应或污染非常重要。
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低温预热过程:将部件预热到特定温度,通常是低温。这有助于获得更好的涂层附着力,并降低部件受热损坏的风险。
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离子轰击:对零件进行离子轰击。这包括用高能离子轰击零件表面,有助于清洁和活化表面。这一步骤可进一步增强类金刚石涂层的附着力。
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底层沉积(PVD 工艺):使用物理气相沉积(PVD)工艺在零件表面沉积一层薄薄的底层。该底层是基底和类金刚石涂层之间的粘合层。
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无定形碳层沉积:DLC 工艺的主要步骤是沉积无定形碳层。通常采用化学气相沉积(CVD)工艺来实现。活性碳原子重新结合,在零件的整个表面形成纯净的类金刚石碳膜。
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冷却:类金刚石碳层沉积完成后,将零件逐渐冷却至室温。这有助于稳定涂层并确保其完整性。
值得注意的是,选择合适的工具材料对金刚石涂层工艺的成功至关重要。除硬质合金和陶瓷切削刀具材料外,涂层过程中的长时间高温会损坏大多数刀具材料。此外,还必须对刀具表面进行仔细处理,包括粗化和除钴,以确保性能稳定。
金刚石涂层工具可用于各种应用,涂层工艺可根据具体要求对薄膜进行优化。DLC 工艺能够生长出多种表面结构,例如薄而光滑的薄膜或具有耐磨性的较厚薄膜,因此可满足不同的工具需求。
总之,类金刚石涂层的应用过程包括预清洁、放入行星夹具、真空下抽气、低温预热、离子轰击、底层沉积、非晶碳层沉积和冷却。这一过程可确保工具上类金刚石涂层的附着力和质量。
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