检测真空炉的泄漏对于确保其正常运行和防止生产中断至关重要。
有几种方法可用于检测真空炉的泄漏。
5 种方法说明
1.声音检测
一种方法是倾听泄漏处发出的任何声音。
嘶嘶声或啸声可能表明存在泄漏。
2.真空衰减
另一种方法是使用溶剂渗入泄漏处，观察真空计上的真空衰减情况。
如果存在泄漏，真空度就会下降。
3.氦气检漏仪
使用氦气检漏仪（如质谱仪）是一种高灵敏度的检漏方法。
将氦气导入炉内，如果发生泄漏，氦气就会逸散，并被检漏仪检测到。
4.泄漏率测试
要进行泄漏率测试，应将炉子抽到较高的真空度，如离子规上的 3 x 10-5 托。
应记录真空 TC 真空计上的真空度读数。
将真空室与真空泵隔离后，15 分钟后再次记录真空 TC 真空计上的真空度。
将初始真空读数与 15 分钟读数之差乘以 4，即可计算出真空室每小时的泄漏率。
泄漏率的验收标准因管理规范而异，但对于大多数应用而言，20 微米/小时的泄漏率通常是可以接受的。
不过，密封良好的真空炉的泄漏率可低于 5 微米/小时，有些甚至可达到低于 1 微米/小时的水平。
5.预防性维护
为防止真空炉泄漏，全面的预防性维护计划至关重要。
这包括对泵、O 形环和法兰密封面进行适当维护，以及定期检查真空进料口。
在加工过程中持续监控真空度也有助于在重大维修之前发现潜在问题。
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