物理气相沉积(PVD)是一种将材料从凝结相转化为气相,然后再返回到基底上的凝结薄膜的工艺。
PVD 工艺的主要类型包括溅射和蒸发,每种工艺都有各自的子技术和应用。
7 种关键技术说明
1.溅射
溅射是通过高能粒子轰击将固态目标材料中的原子喷射成气态,然后沉积到基底上的过程。
1.1 磁控溅射
磁控溅射利用磁场在靶材表面附近捕获电子,提高溅射气体的电离度,从而提高溅射速率。
1.2 离子束溅射
离子束溅射是将聚焦离子束射向靶材,以喷射材料。
1.3 反应溅射
反应溅射将溅射与反应气体相结合,形成氧化物或氮化物等化合物薄膜。
1.4 离子辅助溅射
离子辅助溅射在工艺中加入离子束,以改善薄膜性能。
1.5 气流溅射
气流溅射可控制气体流量,优化沉积过程。
2.蒸发
蒸发是指加热源材料,使其蒸发,然后在较冷的基底上凝结,形成薄膜。
2.1 热蒸发
热蒸发是利用电阻加热或电感加热直接加热材料。
2.2 电子束蒸发
电子束蒸发利用电子束加热材料,从而使熔点较高的材料得以蒸发。
这些 PVD 技术可用于沉积各种材料,包括金属、合金和陶瓷,应用范围从机械和光学到化学和电子功能。
技术的选择取决于薄膜的具体要求,如附着力、密度和纯度。
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