金刚石涂层主要采用化学气相沉积(CVD)技术制造。
具体方法包括微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)、直流电弧等离子体喷射化学气相沉积(DAPCVD)和热线化学气相沉积(HFCVD)。
其中,HFCVD 因其成本效益高且能大面积生产均匀的金刚石涂层而在工业应用中尤其受到青睐。
7 个关键步骤说明
1.热丝化学气相沉积(HFCVD)原理
HFCVD 的工作原理是在高温下启动低压气相反应。
在此过程中,碳氢化合物在高温下发生化学反应,生成薄膜前驱体。
当基底温度达到最佳状态时,这些前驱体沉积到基底表面,形成金刚石薄膜。
生成的薄膜具有厚度均匀、成分一致以及结构致密的特点。
2.不同类型的金刚石涂层
金刚石涂层根据其晶粒尺寸可分为四种类型:超纳米晶金刚石(UNCD,<10 nm)、纳米晶金刚石(NCD,10-200 nm)、亚微晶金刚石(200-1000 nm)和微晶金刚石(MCD,>1 µm)。
气相成分,尤其是甲烷和氢气的比例,对这些涂层的成核和生长有很大影响。
例如,甲烷含量高(>4%)时,二次成核率高,晶粒尺寸较细,而甲烷含量低(<2%)时,晶粒尺寸较大。
3.金刚石质量
金刚石涂层的质量通过拉曼光谱进行评估。
1332 cm-1 处的峰值表明存在天然金刚石,1550 cm-1 和 1350 cm-1 处的峰值表明存在无定形碳(sp2)。
随着晶粒尺寸的减小,金刚石峰变宽,sp2 含量增加,从而影响材料的特性。
还可以观察到其他光谱特征,从而进一步了解涂层的结构和质量。
4.金刚石涂层的特性
金刚石涂层具有高硬度、耐磨性、低摩擦和高导热性等优异特性。
这些特性使其成为材料科学、工程学、化学和生物学领域各种应用的理想材料。
薄型和超薄型金刚石涂层具有高透明度和机械坚固性,特别适用于光学设备、太阳能电池和透明电极。
5.CVD 金刚石涂层磨具
CVD 工艺还可用于在工具上制造金刚石磨削层。
这包括将大量金刚石涂层直接沉积到基体上,从而产生边缘锋利的粗糙度,增强工具的研磨能力。
该工艺使用甲烷作为碳源,需要高温活化,通常使用靠近基体表面的热丝来实现。
6.涂层工具的准备
在进行涂层之前,碳化钨工具需要经过仔细的准备过程。
这包括清洁和两步化学处理,前者使表面粗糙以提高附着力,后者去除抑制金刚石生长的钴。
7.整体工艺效率
总的来说,CVD 工艺,尤其是 HFCVD,为生产高质量金刚石涂层提供了一种通用而高效的方法,适用于广泛的工业和科学应用。
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