溅射是一个复杂的过程，涉及影响其效率和效果的多个因素。
影响溅射的 6 个关键因素
1.离子和靶原子的质量
离子和靶原子的质量在溅射过程中起着至关重要的作用。
较重的离子由于动量较大，通常会产生较高的溅射率。
这使它们能够在碰撞过程中将更多能量传递给靶原子。
同样，靶原子的质量也会影响它们从表面脱落的容易程度。
2.入射角
离子撞击靶表面的角度也会影响溅射产率。
角度越斜（垂直度越小），溅射率越高。
这是因为离子与靶表面的相互作用时间更长，从而导致更有效的能量转移。
3.入射离子能量
入射离子的能量至关重要，因为它决定了可以转移到靶原子上的能量。
在 10 到 5000 eV 的范围内，溅射产率通常会随着轰击粒子能量的增加而增加。
这是因为能量较高的离子可以更有效地克服靶原子的结合能。
4.固体中原子的结合能
目标材料中原子的结合能会影响它们被射出的难易程度。
原子结合力强的材料需要更多的溅射能量。
如果入射离子能量不足，就会降低溅射产率。
5.溅射气体和等离子条件
溅射气体的类型和等离子体的条件也在溅射过程中发挥作用。
气体会影响电离和等离子体密度。
射频功率、磁场和偏置电压应用等技术可用于优化这些等离子体特性。
6.沉积条件
应用功率/电压、溅射气体压力以及基底和靶之间的距离也至关重要。
这些因素控制着沉积薄膜的特性，如成分和厚度。
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