真空炉中的加热元件主要由金属和非金属组成。这些元件对于产生和控制炉内各种工艺所需的高温至关重要。
金属加热元件：
真空炉中的金属加热元件通常分为两类：贵金属和普通金属。贵金属包括钼、铂、钨和钽。选择这些材料是因为它们具有高熔点和抗氧化性，这是在没有氧气的真空环境中的基本特性。镍铬耐热合金、铁铬铝合金和钼钨合金等普通金属也是常用材料。这些材料可在成本和性能之间取得平衡，为许多工业应用提供足够的耐热性和耐用性。非金属加热元件：
非金属加热元件主要由石墨和各种化合物组成。石墨具有出色的可加工性、耐高温性和良好的抗热震性，因此尤其受到青睐。石墨还具有较大的辐射面积，从而提高了加热效率。其他使用的化合物包括碳化硅和硅化钼。不过，这些材料也有局限性，例如在高温下会出现粘结和分解问题（碳化硅），或在相对较低的温度下会软化（氧化钼）。
真空炉的功能：
这些加热元件集成在炉子设计中，通常包括一个与真空系统相连的密封腔体。真空环境至关重要，因为它可以防止氧化和其他不必要的化学反应，确保被加工材料的纯度和完整性。加热元件通过电阻加热、感应加热或辐射加热等方法产生热量，具体取决于真空炉的具体类型。
真空炉的应用和类型：
