在基底上沉积薄膜元件有两种主要方法:物理沉积和化学沉积。这些方法对于科研和工业领域的各种应用至关重要。
2 种主要方法说明
1.物理沉积
物理沉积又称物理气相沉积(PVD),是指将材料从源到基底的物理转移。
这一过程通常通过蒸发或溅射等方法实现。
在蒸发过程中,材料被加热到高温,使其汽化,然后凝结在基底上。
在溅射法中,离子轰击目标材料,使原子喷射出来并沉积在基底上。
2.化学沉积
化学沉积又称化学气相沉积(CVD),涉及前驱液与基底之间的化学反应。
反应的结果是在表面形成薄层。
化学沉积方法的例子包括电镀、溶胶-凝胶、浸镀、旋镀和原子层沉积(ALD)。
在电镀法中,使用电流在基底上沉积金属层。
在溶胶-凝胶法中,将溶液涂在基底上,然后发生化学反应形成固态薄膜。
浸涂和旋涂是将基底浸入或旋入含有所需材料的溶液中,然后使其附着在基底表面。
优势和局限
物理沉积和化学沉积方法都有各自的优点和局限性。
物理沉积法通常因其简单和能够沉积多种材料而受到青睐。
而化学沉积法则能更好地控制薄膜厚度、均匀性和成分。
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