知识 射频溅射使用什么频率?解释 4 个关键因素
作者头像

技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

射频溅射使用什么频率?解释 4 个关键因素

在射频溅射中,使用的频率通常在 5-30 MHz 范围内。

不过,最常用的频率是 13.56 MHz。

之所以选择这个频率,是因为国际电信联盟《无线电条例》将其分配给了工业、科学和医疗(ISM)仪器。

这一分配确保它不会干扰电信服务。

此外,13.56 MHz 的频率足够低,可以让氩离子有足够的时间向目标进行动量传递。

这对溅射过程至关重要。

为什么选择 13.56 MHz?4 个战略原因

射频溅射使用什么频率?解释 4 个关键因素

1.ISM 频段分配

国际电信联盟(ITU)已将 13.56 MHz 指定为 ISM 波段的一部分。

该频段专门用于工业、科学和医疗应用。

这一指定有助于防止干扰其他无线电频率通信。

它可确保溅射工艺在运行时不会干扰或被其他射频技术干扰。

2.动量传递效率

在此频率下,时间尺度有利于氩离子向目标材料有效转移动量。

这一点至关重要,因为如果频率更高,离子就没有足够的时间有效地传递动量。

这有可能导致溅射效率降低。

3.电子动力学

13.56 MHz 的频率在电子动力学方面也是平衡的。

频率越高,电子在溅射过程中就越占优势。

这会改变沉积特性,使其更类似于电子束蒸发。

通过使用 13.56 MHz,工艺保持了平衡,离子和电子都发挥了重要作用。

不过,离子不会被固定,从而确保了有效的溅射。

4.法规遵从性和实际考虑因素

总之,在射频溅射中使用 13.56 MHz 频率是符合法规和实际考虑的结果。

这些考虑因素与溅射过程中离子和电子相互作用的物理学有关。

该频率可确保溅射系统高效、无干扰地运行。

这使其成为薄膜沉积的理想选择,尤其是非导电材料。

继续探索,咨询我们的专家

准备好利用 13.56 MHz 射频溅射的精确性和可靠性提升您的薄膜沉积工艺了吗?

在 KINTEK,我们了解频率在实现最佳动量传递和保持合规性方面的关键作用。

我们先进的溅射系统旨在利用这一战略频率的优势。

它们可确保高质量、无干扰的薄膜沉积。

体验 KINTEK 的与众不同,立即提升您的研究或生产能力。

请联系我们,进一步了解我们的尖端解决方案以及我们如何满足您的特定需求。

相关产品

射频等离子体增强化学气相沉积系统 射频等离子体增强化学气相沉积系统

射频等离子体增强化学气相沉积系统 射频等离子体增强化学气相沉积系统

RF-PECVD 是 "射频等离子体增强化学气相沉积 "的缩写。它能在锗和硅基底上沉积 DLC(类金刚石碳膜)。其波长范围为 3-12um 红外线。

氟化钾 (KF) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

氟化钾 (KF) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

以优惠的价格为您的实验室需求提供最优质的氟化钾 (KF) 材料。我们量身定制的纯度、形状和尺寸可满足您的独特要求。查找溅射靶材、涂层材料等。

高纯铝(Al)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯铝(Al)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

以实惠的价格获取实验室用高品质铝 (Al) 材料。我们提供定制解决方案,包括溅射靶材、粉末、铝箔、铝锭等,以满足您的独特需求。立即订购!

高纯度铪(Hf)溅射靶材/粉/丝/块/粒

高纯度铪(Hf)溅射靶材/粉/丝/块/粒

以合理的价格获得满足您实验室需求的高质量铪 (Hf) 材料。可找到各种形状和尺寸的溅射靶材、涂层材料、粉末等。立即订购。

氟化锶 (SrF2) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

氟化锶 (SrF2) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

正在为您的实验室寻找氟化锶 (SrF2) 材料?不用再找了!我们提供各种规格和纯度的材料,包括溅射靶材、涂层等。现在订购,价格合理。

高纯钴(Co)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯钴(Co)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

根据您的独特需求,为您提供经济实惠的实验室用钴(Co)材料。我们的产品范围包括溅射靶材、粉末、箔等。如需定制解决方案,请立即联系我们!

高纯度铁(Fe)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯度铁(Fe)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

您正在寻找经济实惠的实验室用铁 (Fe) 材料吗?我们的产品系列包括各种规格和尺寸的溅射靶材、涂层材料、粉末等,可满足您的特定需求。请立即联系我们!

高纯锗(Ge)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯锗(Ge)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

以合理的价格为您的实验室需求提供高品质的金材料。我们定制的金材料有各种形状、尺寸和纯度,可满足您的独特要求。了解我们的溅射靶材、涂层材料、箔、粉末等产品系列。

高纯度铱(Ir)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯度铱(Ir)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

正在寻找用于实验室的高品质铱 (Ir) 材料?别再犹豫了!我们专业生产和定制的材料有各种纯度、形状和尺寸,可满足您的独特需求。请查看我们的溅射靶材、涂层、粉末等产品系列。立即获取报价!

铁镓合金 (FeGa) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

铁镓合金 (FeGa) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

以合理的价格找到高品质的实验室用铁镓合金 (FeGa) 材料。我们可根据您的独特需求定制材料。查看我们的规格和尺寸范围!


留下您的留言