知识 什么是物理气相沉积(PVD)设备?4 大要点解析
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 3周前

什么是物理气相沉积(PVD)设备?4 大要点解析

物理气相沉积(PVD)设备用于在金属、陶瓷、玻璃和聚合物等各种基底上沉积薄膜和涂层。

该工艺涉及材料从凝结相到气相的转变,然后再以薄膜的形式回到凝结相。

最常见的 PVD 工艺是溅射和蒸发。

PVD 可用于制造光学、机械、电气、声学或化学功能所需的薄膜。

4 个要点解析:什么是物理气相沉积(PVD)设备?

什么是物理气相沉积(PVD)设备?4 大要点解析

1.材料过渡

PVD 工艺开始时,材料处于固态。

然后,材料在真空环境中气化。

这种气化可通过各种方法实现,如溅射或蒸发。

在溅射法中,材料通过高能粒子轰击从目标中喷射出来。

在蒸发过程中,材料被加热直至变成蒸汽。

2.在基底上沉积

材料一旦进入气相,就会通过真空室并沉积到基底上。

基底可以是前面提到的任何一种材料,具体选择取决于应用要求。

蒸气在基底上凝结成固态,形成薄膜。

3.应用和优势

PVD 应用广泛,包括半导体器件、微机电系统、食品包装和切割工具。

PVD 的优点包括几乎可以沉积任何无机材料。

PVD 还能生产清洁纯净的材料。

该工艺对环境友好。

PVD 涂层以其硬度和耐磨性著称,因此适用于对耐用性要求极高的应用领域。

4.与其他技术的比较

PVD 属于使用真空沉积涂敷薄膜的涂层工艺。

它有别于热蒸发和溅射等其他物理气相沉积技术。

热蒸发是将材料加热到其蒸发点。

溅射则是用高能粒子轰击靶材,将材料从靶材中喷射出来。

总之,PVD 设备能够在各种基底上沉积薄而耐用的功能性薄膜,从而提高产品的性能和使用寿命,因此在各行各业中都非常重要。

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