知识 什么是物理气相沉积法?5 个关键步骤解析
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 3周前

什么是物理气相沉积法?5 个关键步骤解析

物理气相沉积(PVD)是一种在真空环境中将材料薄层沉积到基底表面的方法。

PVD 是一种气化镀膜技术,要沉积的材料一开始是固态的。

PVD 过程在真空条件下进行,涉及四个主要步骤:蒸发、传输、反应和沉积。

5 个关键步骤说明

什么是物理气相沉积法?5 个关键步骤解析

1.蒸发

在蒸发步骤中,目标受到电子或离子束等高能源的轰击。

这将使原子从靶材表面脱落,使其蒸发并将材料沉积到工件上。

2.运输

在传输步骤中,气化的原子从靶材移动到基底或待涂覆的工件上。

3.反应

反应步骤包括沉积材料的原子在传输阶段与气体发生反应。

4.沉积

最后,在沉积步骤中,气化和传输的原子与基底表面发生反应,形成薄膜或涂层。

5.应用

PVD 可用来在表面沉积各种材料(通常是金属)的薄膜,为其提供坚硬耐用的涂层。

它是电镀的替代工艺,可用于建筑铁器和医疗设备等应用。

PVD 在医疗领域具有多种优势,因为它可以让原子以适当的方式为设备进行涂层。

由于设备在人体附近或体内使用,使用物理气相沉积法可确保涂层材料的正确沉积。

总之,物理气相沉积是一种多功能技术,广泛用于在各种表面沉积薄膜或涂层,从而提高耐用性和其他理想性能。

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