喷雾热解是一种在基底上沉积薄膜的方法。
它是利用喷雾将前驱体溶液输送到加热的基底上，溶剂蒸发，溶质分解，形成所需的薄膜。
7 个关键步骤说明
1.前驱体溶液
该过程从前驱体溶液开始，前驱体溶液中含有将形成薄膜的元素或化合物。
这种溶液通常是一种液体，其中包含要沉积的材料，通常溶解在溶剂中。
2.喷涂过程
然后将前驱体溶液喷涂到基底上。
通常使用喷嘴将溶液雾化成细小的液滴。
喷涂过程可确保前驱体材料均匀分布在基底上。
3.加热基底
基底会被加热到很高的温度，根据沉积材料的不同，温度从 600 °C 到 800 °C 不等。
这一高温至关重要，因为它有利于溶剂的蒸发和随后溶质的热解。
4.热解
与加热的基底接触后，液滴中的溶剂蒸发，溶质发生热分解，这是一个热分解过程。
在热分解过程中，溶质分解成更简单的化合物或元素，然后发生反应，在基底上形成所需的薄膜。
5.薄膜形成
溶质分解出的物质沉积在基底上，形成一层薄膜。
这种薄膜通常是均匀的，可以通过调整喷涂过程的参数和基底的温度来控制。
6.载气
载气通常是氢气或氮气，用于清除反应残留物或未反应物，确保只有所需的材料沉积在基底上。
7.杂质和寄生反应
需要注意的是，基底表面可能会发生寄生反应，从而可能形成杂质。
这些杂质会影响薄膜的性能，因此有必要对工艺进行仔细控制，以尽量减少此类情况的发生。
喷雾热解是一种多功能方法，可用于沉积多种材料，包括金属、半导体和绝缘体。
它尤其适用于生产具有可控特性的薄膜，是制造电子设备和其他应用的重要技术。
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