溅射是一种用于制造薄膜的物理气相沉积（PVD）技术。
与其他方法不同的是，源材料（目标）不会熔化。
相反，原子是通过轰击气态离子的动量传递而喷射出来的。
这种工艺的优势在于喷射出的原子动能大，附着力强。
它适用于熔点较高的材料。
它还可以在大面积上沉积均匀的薄膜。
什么是沉积技术中的溅射？4 个要点说明
1.溅射机理
在溅射过程中，受控气体（通常为氩气）被引入真空室。
在阴极上放电，产生等离子体。
来自等离子体的离子被加速冲向目标材料，目标材料是待沉积材料的来源。
当这些离子撞击靶材时，它们会传递能量，导致靶材中的原子被喷射出来。
2.工艺步骤
离子生成： 离子在等离子体中产生，并被引向目标材料。
原子喷射： 这些离子的撞击导致目标材料中的原子被溅射掉。
输送： 溅射出的原子通过一个压力降低的区域被输送到基底。
沉积： 这些原子在基底上凝结，形成薄膜。
3.溅射的优点
均匀性和控制： 溅射可以使用大尺寸的靶材，从而在大面积上形成均匀的薄膜厚度。
在保持操作参数不变的情况下，通过调整沉积时间，可轻松控制薄膜厚度。
材料多样性： 它适用于多种材料，包括高熔点材料。
它可以沉积具有可控成分和特性的合金和化合物。
沉积前清洁： 沉积前可在真空中对基底进行溅射清洁，从而提高薄膜质量。
避免器件损坏： 与其他一些 PVD 方法不同的是，溅射可避免 X 射线对设备造成损坏，因此对精密部件而言更为安全。
4.应用和可扩展性
溅射是一种成熟的技术，可从小规模研究项目扩展到大规模生产。
它适用于各种应用和行业，包括半导体制造和材料研究。
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